[发明专利]一种发光二极管及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201610073805.8 申请日: 2016-02-03
公开(公告)号: CN105720156B 公开(公告)日: 2018-07-31
发明(设计)人: 田艳红;于娜;齐胜利;王江波 申请(专利权)人: 华灿光电(苏州)有限公司
主分类号: H01L33/14 分类号: H01L33/14;H01L33/24;H01L33/32;H01L33/38;H01L33/00
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 徐立
地址: 215600 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 发光二极管 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种发光二极管,所述发光二极管包括衬底、以及依次层叠在所述衬底上的N型层、发光层、P型层,所述P型层上开设有从所述P型层延伸到所述N型层的凹槽,位于所述凹槽的一侧的所述P型层上依次层叠有第一电流阻挡层、第一透明导电层、以及延伸至所述凹槽内的钝化层,所述钝化层内设有延伸到所述P型层的第一通孔、以及延伸到所述第一透明导电层的第二通孔,P型焊盘设置在所述第一通孔内,P型电极线设置在所述第二通孔内,其特征在于,位于所述凹槽的另一侧的所述P型层上依次层叠有延伸到所述凹槽内的第二电流阻挡层、第二透明导电层、以及N型焊盘和N型电极线,所述N型电极线在所述凹槽内与所述N型层之间形成欧姆接触。

2.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于,所述第二电流阻挡层和所述第一电流阻挡层的材料均采用SiO2或者SiN。

3.根据权利要求1或2所述的发光二极管,其特征在于,所述N型电极和所述P型电极的材料均采用Ni/Al/Cr/Ni/Au。

4.根据权利要求1或2所述的发光二极管,其特征在于,所述钝化层的材料均采用SiO2或者SiON。

5.一种发光二极管的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:

在衬底上依次形成N型层、发光层、P型层;

在所述P型层上开设从所述P型层延伸到所述N型层的凹槽;

在位于所述凹槽的一侧的所述P型层上形成第一电流阻挡层,同时在位于所述凹槽的另一侧的所述P型层上形成延伸到所述凹槽内的第二电流阻挡层;

在位于所述凹槽的一侧的所述P型层上、以及所述第一电流阻挡层上形成第一透明导电层,在所述第二电流阻挡层上形成第二透明导电层;

在所述第一透明导电层上形成延伸到所述凹槽内的钝化层,所述钝化层内设有延伸到所述P型层的第一通孔和延伸到所述第一透明导电层的第二通孔;

在所述第一通孔内设置P型焊盘,在所述第二通孔内设置P型电极线,在所述第二透明导电层上设置N型焊盘,在所述第二透明导电层和所述N型层上设置N型电极线。

6.根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,所述第二电流阻挡层和所述第一电流阻挡层的材料均采用SiO2或者SiN。

7.根据权利要求5或6所述的制作方法,其特征在于,所述N型电极和所述P型电极的材料均采用Ni/Al/Cr/Ni/Au。

8.根据权利要求5或6所述的制作方法,其特征在于,所述钝化层的材料均采用SiO2或者SiON。

9.根据权利要求5或6所述的制作方法,其特征在于,所述在所述第一透明导电层上形成延伸到所述凹槽内的钝化层,所述钝化层内设有延伸到所述P型层的第一通孔和延伸到所述第一透明导电层的第二通孔,包括:

在所述第一透明导电层和所述第二透明导电层上铺设一层钝化层;

采用光刻工艺在所述钝化层上形成设定图形的光刻胶;

利用所述设定图形的光刻胶对所述钝化层进行刻蚀,在所述钝化层内形成延伸到所述第一透明导电层述P型层的第一通孔和延伸到所述第一透明导电层的第二通孔。

10.根据权利要求9所述的制作方法,其特征在于,所述在所述第一通孔内设置P型焊盘,在所述第二通孔内设置P型电极线,在所述第二透明导电层上设置N型焊盘,在所述第二透明导电层和所述N型层上设置N型电极线,包括:

在所述第一通孔内、所述第二通孔内、所述第二透明导电层、所述N型层、以及所述光刻胶上形成电极;

剥离所述光刻胶,得到所述P型焊盘、所述P型电极线、所述N型焊盘、以及所述N型电极线。

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