[发明专利]一种发光二极管及其制作方法有效
申请号: | 201610073805.8 | 申请日: | 2016-02-03 |
公开(公告)号: | CN105720156B | 公开(公告)日: | 2018-07-31 |
发明(设计)人: | 田艳红;于娜;齐胜利;王江波 | 申请(专利权)人: | 华灿光电(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14;H01L33/24;H01L33/32;H01L33/38;H01L33/00 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 徐立 |
地址: | 215600 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 发光二极管 及其 制作方法 | ||
1.一种发光二极管,所述发光二极管包括衬底、以及依次层叠在所述衬底上的N型层、发光层、P型层,所述P型层上开设有从所述P型层延伸到所述N型层的凹槽,位于所述凹槽的一侧的所述P型层上依次层叠有第一电流阻挡层、第一透明导电层、以及延伸至所述凹槽内的钝化层,所述钝化层内设有延伸到所述P型层的第一通孔、以及延伸到所述第一透明导电层的第二通孔,P型焊盘设置在所述第一通孔内,P型电极线设置在所述第二通孔内,其特征在于,位于所述凹槽的另一侧的所述P型层上依次层叠有延伸到所述凹槽内的第二电流阻挡层、第二透明导电层、以及N型焊盘和N型电极线,所述N型电极线在所述凹槽内与所述N型层之间形成欧姆接触。
2.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于,所述第二电流阻挡层和所述第一电流阻挡层的材料均采用SiO2或者SiN。
3.根据权利要求1或2所述的发光二极管,其特征在于,所述N型电极和所述P型电极的材料均采用Ni/Al/Cr/Ni/Au。
4.根据权利要求1或2所述的发光二极管,其特征在于,所述钝化层的材料均采用SiO2或者SiON。
5.一种发光二极管的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:
在衬底上依次形成N型层、发光层、P型层;
在所述P型层上开设从所述P型层延伸到所述N型层的凹槽;
在位于所述凹槽的一侧的所述P型层上形成第一电流阻挡层,同时在位于所述凹槽的另一侧的所述P型层上形成延伸到所述凹槽内的第二电流阻挡层;
在位于所述凹槽的一侧的所述P型层上、以及所述第一电流阻挡层上形成第一透明导电层,在所述第二电流阻挡层上形成第二透明导电层;
在所述第一透明导电层上形成延伸到所述凹槽内的钝化层,所述钝化层内设有延伸到所述P型层的第一通孔和延伸到所述第一透明导电层的第二通孔;
在所述第一通孔内设置P型焊盘,在所述第二通孔内设置P型电极线,在所述第二透明导电层上设置N型焊盘,在所述第二透明导电层和所述N型层上设置N型电极线。
6.根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,所述第二电流阻挡层和所述第一电流阻挡层的材料均采用SiO2或者SiN。
7.根据权利要求5或6所述的制作方法,其特征在于,所述N型电极和所述P型电极的材料均采用Ni/Al/Cr/Ni/Au。
8.根据权利要求5或6所述的制作方法,其特征在于,所述钝化层的材料均采用SiO2或者SiON。
9.根据权利要求5或6所述的制作方法,其特征在于,所述在所述第一透明导电层上形成延伸到所述凹槽内的钝化层,所述钝化层内设有延伸到所述P型层的第一通孔和延伸到所述第一透明导电层的第二通孔,包括:
在所述第一透明导电层和所述第二透明导电层上铺设一层钝化层;
采用光刻工艺在所述钝化层上形成设定图形的光刻胶;
利用所述设定图形的光刻胶对所述钝化层进行刻蚀,在所述钝化层内形成延伸到所述第一透明导电层述P型层的第一通孔和延伸到所述第一透明导电层的第二通孔。
10.根据权利要求9所述的制作方法,其特征在于,所述在所述第一通孔内设置P型焊盘,在所述第二通孔内设置P型电极线,在所述第二透明导电层上设置N型焊盘,在所述第二透明导电层和所述N型层上设置N型电极线,包括:
在所述第一通孔内、所述第二通孔内、所述第二透明导电层、所述N型层、以及所述光刻胶上形成电极;
剥离所述光刻胶,得到所述P型焊盘、所述P型电极线、所述N型焊盘、以及所述N型电极线。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华灿光电(苏州)有限公司,未经华灿光电(苏州)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610073805.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种可降低运动阻力的齿条支承座
- 下一篇:一种斜井自动闭合式安全门装置