[发明专利]一种非球面镜的加工方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种光学元件的加工，具体涉及一种旋转对称非球面镜的加工方法。

背景技术

非球面光学元件是一种非常重要的光学元件，它可以获得球面光学元件所无可比拟的成像质量，在光学系统中能够很好地矫正多种像差，改善成像质量，提高系统鉴别能力；在光学系统中，能以一个或几个非球面元件代替多个球面元件，从而简化仪器结构，简化系统结构、缩短筒长、并有效地减轻仪器的重量；同时非球面光学系统的设计能使计算方法大为简化。鉴于以上优点，研究开发新的非球面光学元件的加工和检测技术一直是本领域的重要任务。

随着计算机数控单点金刚石技术、超精密磨削技术、计算机控制光学表面成形技术等非球面加工技术的进一步发展，目前非球面光学元件的制造技术已从传统的手工修改球形表面发展到计算机控制确定性的加工过程。然而这种技术高度依赖精密复杂结构的仪器设备，众所周知这些高精密光学加工仪器设备又严重依赖进口，其设备价格昂贵且设备使用后期维护成本高，只有国内少部分科研机构或者大型企业有实力使用这些设备来加工非球面。

实际上在我国光学加工领域，采用最多的技术路线依然是先制造出与非球面相比最为接近的球面，然后依靠精密研磨、精密抛光等工序，多周期修正最接近球面与非球面的偏差量，直至最终达到图纸设计要求。衡量每一过程加工质量的指标是：面形误差的收敛速度、下表面破坏层深度的控制、边缘磨削量的控制即边缘效应的去除。上述环节解决的好坏将直接影响到被加工工件的表面质量，处理好这些技术难点多年来一直为各国光学技术人员所关注。然而，在传统研磨工艺中，保持压力恒定，靠控制磨头在工件表面的驻留时间来控制去除量，当磨头移动到工件边缘而不露边时，由于最边缘区域的相对加工时间小于中间区域，则去除量减少，工件发生“翘边”；反之,当磨头部份露出工件边缘时，由于相对压力增大，使边缘区域去除量增加，工件发生“塌边”，这两种现象被称为边缘效应。

除此之外，如图1所示，传统二次凹非球面K<0，相比最为接近的球面2的材料去除分布曲线为W形，如图7中17所示，材料去除分布在口径0.707处最低，中心和边缘高。在研磨0.707带外的边缘时由于边缘效应的存在若磨盘不出边则最低带慢慢向外边缘移，如图2所示，随着最低带外移磨盘尺寸逐渐减小相应去除效率也降低；若磨盘出边则在工件边缘塌边，如图3所示，塌边后即在边缘很窄的带内出现一个误差峰值，如要去除这个峰值需要花费大量的精力相应去除效率也减小。正是由于边缘效应的存在，以往的最接近球0.707带外的误差非常难处理。若在研磨阶段工件0.707之外边缘处理不好会严重影响到后期的抛光进程，严重阻碍面形误差收敛,在一定程度上影响了非球面加工的效率和增大了加工难度。在传统的工艺中处理边缘效应的技术方案有一下三种，1.直接研磨，随着镜面上最低带的外移逐步缩小研磨盘的尺寸，经过多次反复加工外边缘的误差逐步缩小，这种加工方式会在处理边缘上耗费大量的时间，且由于使用的磨盘逐步变小容易磨出更多的高低起伏的碎带，如图4所示，严重影响抛光阶段边缘面形误差的收敛速度；2.加大初始工件口径尺寸，研磨阶段处理镜面0.707外边缘翘边所产生的碎带位置出现在非球面实际口径之外，完成抛光后将初始工件尺寸磨削至非球面实际口径尺寸；这种加工方式实际上是加工了一个口径比实际要求口径大的非球面，把与研磨抛光过程中边缘问题通过余量磨削的方式去除，显然增加了材料成本，3.拼接，加工一个内径与待加工非球面口径相同的环形护环，通过粘结工艺将护环与待加工工件粘结为一个整体，研磨抛光时护环承受了边缘效应的影响，加工结束后将护环拿下，这种加工方式会增加加工工艺的难度，且粘结后容易在工件上产生不均匀的应力分布，待加工过程结束卸下护环后由于粘结产生的应力释放，已经加工好的镜面表面产生非常大的局部误差，对加工好的镜面重新修正局部误差势必延长了加工周期。

发明内容

本发明的发明目的是提供一种旋转对称凹二次非球面镜的加工方法，不需要依赖高精复杂仪器设备，不需要花费特别精力处理0.707带外边缘误差，避免研磨阶段受边缘效应影响工件0.707带外边缘处理效率低的技术问题。