[发明专利]互不固溶金属银和钽的连接工艺

权利要求书

1.一种互不固溶金属银和钽的连接工艺，其特征在于，包括：

对待连接的钽和银进行预处理；

将钽粉状物和银粉状物的混合物压制成厚度为2-5毫米的坯；

按照钽、坯以及银的顺序叠放；

对顺序叠放的钽、坯以及银进行固定并施加压力，以使钽的待连接面 和银的待连接面均与坯紧密贴合；

对处于固定并加压状态的钽、坯以及银进行退火处理，且所述退火处 理的退火温度低于银的熔点10-50摄氏度。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对待连接的钽和银进 行预处理的步骤包括：

对所述钽和银的待连接面分别进行打磨；

对所述钽的待连接面依次进行酒精清洗处理、去油处理、去离子水清 洗处理、刻蚀处理、去离子水清洗处理以及超声波清洗处理；

对所述银的待连接面依次进行酒精清洗处理、去离子水清洗处理以及 超声波清洗处理。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述刻蚀处理的步骤包括：

将钽的连接面浸泡在刻蚀液中。

所述刻蚀液的配比为：1升的刻蚀液包括：37％的浓盐酸150毫升、98％ 的浓硫酸150毫升、80克三氧化络以及蒸馏水。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一和银的粉状物的 混合物包括：颗粒大小不超过5微米的钽和银的粉状物。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将钽和银的粉状物压 制成厚度为2-5毫米的坯包括：

利用压膜机对银的粉状物施加20-35MPa的压力，并压制5-10分钟， 以获得厚度为2-5毫米的坯。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

对所述坯依次进行酒精清洗处理、去离子水清洗处理以及超声波清洗 处理。

7.如权利要求1至6中任一权利要求所述的方法，其特征在于，所述 对顺序叠放的钽、坯以及银进行固定并施加压力的步骤包括：

在钽的外侧和银的外侧分别叠放石英板；

在两块石英板的外侧分别叠放钨板；

通过扭矩扳手旋转两块钨板的左右两侧分别设置的钼/铌制加压螺母， 以对顺序叠放的钽、坯以及银进行固定并施加3MPa-10MPa的压力。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

对所述石英板和钨板分别进行酒精清洗处理。

9.如权利要求1至6中任一权利要求所述的方法，其特征在于，所述 对处于加压状态的钽、坯以及银进行退火处理的步骤包括：

以每分钟6摄氏度的升温速度将温度升至250摄氏度；

在250摄氏度的温度下保持10分钟；

以每分钟6摄氏度的升温速度将温度升至退火温度；

退火温度保持3小时-5小时后，开始降温。

10.如权利要求1至6中任一权利要求所述的方法，其特征在于，所 述退火温度为950摄氏度。