[发明专利]套刻键标、形成套刻键标的方法和测量套刻精度的方法

权利要求书

1.一种套刻键标，包括：

至少两个套刻标记，每个所述套刻标记具有彼此中心对称的第一子标记和第二子标记，第一子标记和第二子标记中的每一个包括两个相互垂直且具有公共端的条状图形，其中，所述套刻标记中至少有两个位于不同层，并且其中，所述套刻标记的第一子标记依次排列以形成第一阶梯式图形，并且所述套刻标记的第二子标记依次排列以形成第二阶梯式图形。

2.如权利要求1所述的套刻键标，其中，所述第一阶梯式图形与所述第二阶梯式图形彼此不重叠。

3.如权利要求1所述的套刻键标，其中，所述至少两个套刻标记中的一个被布置为使得其第一子标记和第二子标记在它们的对称中心处相连接。

4.如权利要求3所述的套刻键标，其中，所述至少两个套刻标记的第一子标记在远离所述对称中心的第一方向上依次排列，并且所述至少两个套刻标记的第二子标记在与所述第一方向相反的方向上依次排列。

5.如权利要求1-4中任一项所述的套刻键标，其中，所述两个条状图形具有相同的长度。

6.一种显示基板，包括：权利要求1-5任一项所述的套刻键标。

7.如权利要求6所述的显示基板，其中，所述套刻键标位于所述显示基板的非显示区。

8.一种显示面板，包括：如权利要求6或7所述的显示基板。

9.一种形成套刻键标的方法，包括：

形成至少两个套刻标记，每个所述套刻标记具有彼此中心对称的第一子标记和第二子标记，第一子标记和第二子标记中的每一个包括两个相互垂直且具有公共端的条状图形，其中，所述套刻标记中至少有两个位于不同层，并且其中，所述套刻标记的第一子标记依次排列以形成第一阶梯式图形，并且所述套刻标记的第二子标记依次排列以形成第二阶梯式图形。

10.如权利要求9所述的方法，其中，所述第一阶梯式图形与所述第二阶梯式图形彼此不重叠。

11.如权利要求9所述的方法，其中，所述至少两个套刻标记中的一个被布置为使得其第一子标记和第二子标记在它们的对称中心处相连接。

12.如权利要求11所述的方法，其中，所述至少两个套刻标记的第一子标记在远离所述对称中心的第一方向上依次排列，并且所述至少两个套刻标记的第二子标记在与所述第一方向相反的方向上依次排列。

13.如权利要求9-12中任一项所述的方法，其中，所述两个条状图形具有相同的长度。

14.一种测量套刻精度的方法，包括：

获取至少两个套刻标记的图像，每个所述套刻标记具有彼此中心对称的第一子标记和第二子标记，第一子标记和第二子标记中的每一个包括两个相互垂直且具有公共端的条状图形，其中，所述套刻标记中至少有两个位于不同层，并且其中所述套刻标记的第一子标记依次排列以形成第一阶梯式图形，并且所述套刻标记的第二子标记依次排列以形成第二阶梯式图形；以及

基于所述图像中所述至少两个套刻标记的位置信息测量所述不同层之间的套刻精度。

15.如权利要求14所述的方法，其中，测量所述套刻精度包括：

在所述图像中确定位于不同层的两个套刻标记各自的第一子标记和第二子标记的对称中心；

确定所确定的对称中心之间的位置偏差；以及

基于所述位置偏差测量所述不同层之间的套刻精度。

16.如权利要求14所述的方法，其中，测量所述套刻精度包括：

基于所述图像中所述第一阶梯式图形中的两个相邻第一子标记或所述第二阶梯式图形中的两个相邻第二子标记之间的重叠，确定所述两个相邻第一子标记或所述两个相邻第二子标记所在的两个层之间存在套刻偏差。