[发明专利]一种曝光机及用于曝光机的光学过滤器

说明书

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种曝光机及用于曝光机的光学过滤器。

背景技术

液晶显示面板(Liquid Crystal Display，LCD)是目前常用的平板显示器，LCD的制程包括膜层的沉积以及膜层的曝光，其中曝光过程在整个LCD制程中起着关键的作用。

现有技术曝光机光路结构图如图1所示，包括光线发射单元10、第一平面镜11、蝇眼12、弧形镜13和第二平面镜14，在曝光过程中，光线发射单元10发出的光经过第一平面镜11、蝇眼12、弧形镜13和第二平面镜14射到掩膜板15上，通过掩膜板15实现对待曝光基板16上的膜层的图案化。

曝光时，首先将掩膜板15通过真空吸附的方式固定在固定结构20上，如图2所示，此时掩膜板15会在其自身的重力作用下发生弯曲，目前主要通过调节固定结构20的平坦度及角度来对掩膜板15的平坦度进行补正，但在实际曝光过程中，仍然存在曝光间距不等的情况，待曝光基板16中心区域对应的曝光间距小，四周区域对应的曝光间距大，曝光间距为掩膜板15和待曝光基板16之间的距离，使得待曝光基板16上的膜层曝光后形成的图案的宽度(CD值)不均匀。

现有技术照射到待曝光基板16上的光的照度模拟结果图如图3所示，图中与横坐标X平行方向上的数值100等表示待曝光基板16在水平方向上的位置坐标，与横坐标X垂直方向上的数值20等表示照射到待曝光基板16的水平方向上的位置的光的照度的大小；与纵坐标Y平行方向上的数值100等表示待曝光基板16在竖直方向上的位置坐标，与纵坐标Y垂直方向上的数值20等表示照射到待曝光基板16的竖直方向上的位置处的光的照度的大小，从图中可以看到，现有技术照射到待曝光基板16的光的照度的大小分布均匀，此时由于待曝光基板16对应的曝光间距中心区域小，四周区域大，会导致待曝光基板上的膜层曝光后形成的图案的CD值不均匀。

待曝光基板上的膜层曝光后形成的图案的CD值的分布图如图4所示，待曝光基板上的膜层以彩膜层为例，区域31中测的彩膜层曝光后形成的图案的CD值为22微米(μm)，区域32中测的彩膜层曝光后形成的图案的CD值为23μm，区域33中测的彩膜层曝光后形成的图案的CD值为24μm，区域34中测的彩膜层曝光后形成的图案的CD值为25μm，区域35中测的彩膜层曝光后形成的图案的CD值为26μm；即现有技术对彩膜层曝光后，中心区域形成的图案的CD值较小，四角区域形成的图案的CD值较大。

通过现有技术的曝光机对彩膜层曝光后形成的红色(R)、绿色(G)和蓝色(B)图案如图5、图6(a)和图6(b)所示，图5表示测得的彩膜层曝光后形成的R、G和B图案的CD值与标准值相同，这种情况下R、G和B图案的边缘搭在黑矩阵上的宽度刚好，曝光结果较理想；但当测得的彩膜层曝光后形成的R、G和B图案的CD值比标准值偏小时，R、G和B至少有一个的图案的边缘搭在黑矩阵上的宽度变小，有空白区域，如图6(a)所示，此时发生漏光的概率增大；当测得的彩膜层曝光后形成的R、G和B图案的CD值比标准值偏大时，R、G和B至少有一个的图案的边缘搭在黑矩阵上的宽度变大，如图6(b)所示，图6(b)示出了形成的G的图案的边缘搭在黑矩阵上的宽度变大，此时发生混色的概率增大。

综上所述，采用现有技术的曝光机曝光，待曝光基板上的膜层曝光后形成的图案的CD值均一性较差，显示面板漏光以及混色发生的概率较大。

发明内容

本发明实施例提供了一种曝光机及用于曝光机的光学过滤器，用以改善待曝光基板上的膜层曝光后形成的图案的CD值均一性差的问题，进而减少漏光及混色发生的概率，提升产品良率。

本发明实施例提供的一种曝光机，包括第一平面镜和蝇眼，其中，还包括位于所述第一平面镜和所述蝇眼之间的光学过滤器，所述光学过滤器用于改变进入所述蝇眼中的光的照度，使得曝光间距越大，照射到待曝光基板上的光的照度越小；所述曝光间距为当掩膜板在重力作用下发生弯曲时，待曝光基板与所述掩膜板之间的距离。