[发明专利]一种涂胶装置及具有该涂胶装置的纳米压印设备

权利要求书

1.一种涂胶装置，其特征在于，包括用于沾取光刻胶的取胶辊(2)和用于将所述取胶辊(2)上的光刻胶转移到材料上的转移辊(3)，所述取胶辊(2)和所述转移辊(3)可沿自身轴线转动的平行设置在支撑架(1)上，所述支撑架(1)上还设置有用于调整所述取胶辊(2)和所述转移辊(3)之间接触紧密程度的微调件；

所述微调件为设置在所述支撑架(1)的通孔中的螺旋微调件，所述螺旋微调件设置在所述转移辊(3)的端部；

所述支撑架(1)上设置有刮墨刀架支撑架(10)，所述刮墨刀架支撑架(10)通过楔形的垫片与刮墨刀架(11)连接，所述垫片用于调整所述刮墨刀架支撑架(10)与所述刮墨刀架(11)的角度，所述刮墨刀架(11)上设置有刮墨刀。

2.根据权利要求1所述的涂胶装置，其特征在于，所述支撑架(1)通过直线平移台(9)与所述刮墨刀架支撑架(10)连接，所述直线平移台(9)包括上平台和可与所述上平台相对移动并固定的下平台，所述下平台与所述支撑架(1)固定连接，所述上平台与所述刮墨刀架支撑架(10)固定连接。

3.根据权利要求2所述的涂胶装置，其特征在于，所述上平台和所述下平台中的一者为楔形平台，另一者与所述楔形平台的楔形面贴合设置。

4.根据权利要求1所述的涂胶装置，其特征在于，所述刮墨刀为铝片刮墨刀。

5.根据权利要求1所述的涂胶装置，其特征在于，所述取胶辊(2)和所述转移辊(3)的端部均固定设有传动齿轮(5)，所述取胶辊(2)与驱动电机传动连接，所述转移辊(3)的传动齿轮(5)与所述取胶辊(2)的传动齿轮(5)啮合。

6.根据权利要求1所述的涂胶装置，其特征在于，还包括用于分别控制所述取胶辊(2)和所述转移辊(3)转速的控制装置，所述控制装置通过驱动电机分别与所述取胶辊(2)、所述转移辊(3)连接。

7.一种纳米压印设备，包括纳米压印头和涂胶装置，其特征在于，所述涂胶装置为权利要求1至6任意一项所述的涂胶装置。