[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法、显示面板及显示装置

权利要求书

1.一种薄膜晶体管，包括依次形成于柔性衬底之上的有源区、栅极绝缘层、栅极、源极、漏极、钝化层以及平坦化层，其特征在于，在所述钝化层与所述平坦化层之间形成有保护层，所述保护层位于所述有源区及所述栅极的正上方，以保护所述保护层所在的垂直区域内的半导体材料；所述保护层的材质为金属，所述栅极采用金属材料；所述保护层在垂直于所述栅极的方向上覆盖所述有源区、栅极、源极及漏极之间的间隙；且位于所述栅极正上方的所述保护层中设有暴露出至少部分所述钝化层顶面的缺口。

2.如权利要求1所述的薄膜晶体管，其特征在于，所述保护层的杨氏模量大于300N/m²。

3.如权利要求1～2中任一项所述的薄膜晶体管，其特征在于，还包括：上层保护膜、下层保护膜与阻挡层；

所述上层保护膜设置于所述平坦化层之上，所述下层保护膜设置于所述柔性衬底之下，所述阻挡层设置于所述柔性衬底与栅极绝缘层之间。

4.一种制造如权利要求1～3中任一项所述的薄膜晶体管的方法，包括：在柔性衬底上依次形成有源区、栅极绝缘层、栅极、源极与漏极以及钝化层，其特征在于，在所述钝化层上形成保护层，在所述保护层上形成平坦化层；所述保护层位于所述有源区及所述栅极的正上方。

5.一种显示面板，其特征在于，包括如权利要求1～3中任一项所述的薄膜晶体管。

6.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求5所述的显示面板。