[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法、显示面板及显示装置

说明书

本发明提供一种薄膜晶体管及其制造方法、显示面板及显示装置，所述薄膜晶体管包括依次形成于柔性衬底上的有源区、栅极绝缘层、栅极、源极、漏极、钝化层以及平坦化层，在所述钝化层与所述平坦化层之间形成有保护层，所述保护层位于所述有源区及所述栅极的正上方；通过保护层对薄膜晶体管垂直区域的半导体材料产生保护作用，从而降低薄膜晶体管部分材料在弯曲过程中受到的应力，避免薄膜晶体管器件在弯曲过程中可能会造成半导体材料的损伤，进而提高器件的质量。

技术领域

本发明涉及柔性显示技术领域，具体涉及一种薄膜晶体管及其制造方法、显示面板及显示装置。

背景技术

有机发光器件，即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称OLED)，又称为有机电致发光显示(Organic Electroluminesence Display，简称OLED)具有全固态特性，机械性能好，抗震动性强，使用塑料、聚酯薄膜或胶片作为基板，OLED屏可以做到更薄，甚至可以折叠或卷起来，实现柔性软屏显示。

随着显示技术的发展，研发人员对可折叠或卷起的柔性显示装置不断作出的改进，与传统的刚性显示装置(即制作在玻璃等不可弯曲的基材上的显示装置)相比，柔性显示装置具有诸多优势，如重量轻、体积小、携带更为方便，更高的耐冲击性以及更强的抗震性能等。

但是，柔性显示装置在弯曲的情况下，多层结构由于各层材料杨氏模量不同，会在界面处产生大量缺陷，从而影响器件性能，而薄膜晶体管作为柔性显示装置中重要的功能器件，其性能对于柔性产品的整体性能有重大的影响。现有技术一般通过优化器件结构，减少高硬度膜层的厚度，使相邻结构膜层硬度尽可能接近，从而减少功能层受到的损伤。但是，薄膜晶体管中各层材料的厚度的改变可能对薄膜晶体管的性能产生影响，导致最终的产品达不到预计的效果。

因此，亟需提供一种避免薄膜晶体管器件在弯曲过程中可能会造成损伤的方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种薄膜晶体管及其制造方法、显示面板及显示装置，对薄膜晶体管中的半导体材料形成保护，降低薄膜晶体管部分材料在弯曲过程中受到的应力，避免薄膜晶体管器件在弯曲过程中可能会造成半导体材料的损伤。

为实现上述目的，本发明提供一种薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括依次形成于柔性衬底之上的有源区、栅极绝缘层、栅极、源极、漏极、钝化层以及平坦化层，在所述钝化层与所述平坦化层之间形成有保护层，所述保护层位于所述有源区及所述栅极的正上方。

可选的，在所述的薄膜晶体管中，所述保护层位于所述有源区及所述栅极的正上方完全覆盖所述栅极。

可选的，在所述的薄膜晶体管中，所述保护层的材质为有机物。

可选的，在所述的薄膜晶体管中，所述保护层的材质为金属。

可选的，在所述的薄膜晶体管中，所述保护层在垂直于所述栅极的方向上覆盖所述有源区、栅极、源极及漏极之间的间隙。

可选的，在所述的薄膜晶体管中，所述保护层的杨氏模量大于300N/m²。

可选的，在所述的薄膜晶体管中，还包括：上层保护膜、下层保护膜与阻挡层；

所述上层保护膜设置于所述平坦化层之上，所述下层保护膜设置于所述柔性衬底之下，所述阻挡层设置于所述柔性衬底与所述栅极绝缘层之间。

相应的，本发明还提供一种薄膜晶体管的制造方法，制造上述薄膜晶体管，其方法包括：在柔性衬底上依次形成有源区、栅极绝缘层、栅极、源极与漏极以及钝化层，在所述钝化层上形成保护层，在所述保护层上形成平坦化层；所述保护层位于所述有源区及所述栅极的正上方。

相应的，本发明还提供一种显示面板，所述显示面板包括如上所述的薄膜晶体管。