[发明专利]一种多功能仿生微结构表面测试装置有效
申请号: | 201610114688.5 | 申请日: | 2016-03-01 |
公开(公告)号: | CN105675059B | 公开(公告)日: | 2017-08-25 |
发明(设计)人: | 贾洪铎;于海武;李蓉;王晓杰;孙鹏;朱红生 | 申请(专利权)人: | 中国科学院合肥物质科学研究院;常州先进制造技术研究所 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02;G01N19/02;G01N19/04;G01B11/06 |
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地址: | 230000 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多功能 仿生 微结构 表面 测试 装置 | ||
1.一种多功能仿生微结构表面测试装置,其特征在于,包括粘附力测试驱动(101)、摩擦力测试杆转轴(102)、摩擦实验样机底层支板(106)、摩擦力测试杆(208)、摩擦力测试传感器预压装置(301)、薄膜检测装置(303)和显微镜装置,所述摩擦实验样机底层支板(106)上安装有横梁支撑杆(103)和摩擦实验样机中层支板支架(105),所述横梁支撑杆(103)位于摩擦实验样机中层支板支架(105)的后侧,所述摩擦实验样机中层支板支架(105)上安装有摩擦实验样机中层支板(104),所述摩擦力测试杆转轴(102)安装在摩擦实验样机中层支板(104)上,所述摩擦力测试杆(208)安装在摩擦力测试杆转轴(102)的上方,所述摩擦力测试杆(208)的左端部设有预载荷砝码(107),摩擦力测试杆(208)的右端部设有平衡调节块(204),所述摩擦力测试杆(208)的下方安装有导轨中间连桥(202),导轨中间连桥(202)左侧的下方安装有辅助支撑导轨(201),导轨中间连桥(202)右侧的下方安装有摩擦力测试驱动(206),辅助支撑导轨(201)上安装有横梁(203),所述粘附力测试驱动(101)通过粘附力测试载物架(205)安装在横梁(203)的前方,所述摩擦力测试传感器预压装置(301)连接在摩擦力测试杆(208)上,所述摩擦力测试传感器预压装置(301)的右侧安装有摩擦力测试传感器(302),所述薄膜检测装置(303)安装在摩擦力测试传感器(302)下部的机架上,所述显微镜装置安装在摩擦力测试传感器预压装置(301)下部的机架上,所述显微镜装置包括显微镜调节Z轴(402)、光电显微镜(404)、显微镜调节X轴(405)、显微镜支座(406)和显微镜调节Y轴(407),所述显微镜调节X轴(405)和显微镜调节Y轴(407)分别安装在显微镜支座(406)的前方和左侧,所述显微镜调节Z轴(402)通过显微镜Y轴Z轴连接块(401)安装在显微镜支座(406)的右侧,所述光电显微镜(404)通过显微镜固定扣(403)连接在显微镜调节Z轴(402)上。
2.所根据权利要求1所述的多功能仿生微结构表面测试装置,其特征在于,所述摩擦力测试杆转轴(102)通过摩擦力测试载物架(207)安装在摩擦实验样机中层支板(104)上。
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