[发明专利]一种冗余金属填充的方法及系统有效

专利信息
申请号: 201610119214.X 申请日: 2016-03-02
公开(公告)号: CN107153720B 公开(公告)日: 2020-10-16
发明(设计)人: 曹鹤;陈岚;刘建云;石显锋;张贺 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G06F30/39 分类号: G06F30/39;H01L21/768
代理公司: 北京维澳专利代理有限公司 11252 代理人: 周放;江怀勤
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 冗余 金属 填充 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种冗余金属填充的方法,其特征在于,包括步骤:

根据设计要求对不可填充区域进行外扩,得到外扩区域;

对所述外扩区域进行余量分析,得到待填充区域;

对待填充区域进行矩形化处理,得到各矩形待填充区域;

在各矩形待填充区域进行冗余金属填充;

所述根据设计要求对不可填充区域进行外扩,得到外扩区域包括:

根据设计要求设定外扩参数L;

对不可填充区域进行矩形化处理,得到不可填充区域的各矩形的各顶点坐标;

利用不可填充区域的各矩形的各顶点坐标,计算按照所述外扩参数L进行外扩的各外扩区域的各顶点坐标。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述对所述外扩区域进行余量分析,得到待填充区域包括:

获取最小不可填充距离d;

将与外扩区域有重叠部分的非填充区域外扩d/2,得到各非填充外扩区域;

将去除各非填充外扩区域的所述外扩区域作为待填充区域。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述对待填充区域进行矩形化处理,得到各矩形待填充区域之后,所述方法还包括:

确定各矩形待填充区域的填充优先级,包括:

计算各矩形待填充区域质心到所述不可填充区域质心的距离;

设定所述距离越大的矩形待填充区域的填充优先级越高;

所述在各矩形待填充区域进行冗余金属填充包括:根据所述填充优先级对各矩形待填充区域进行冗余金属填充。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述利用不可填充区域的各矩形的各顶点坐标,计算按照所述外扩参数L进行外扩的各外扩区域的各顶点坐标包括:

计算以坐标(xj,yj)为顶点,坐标(xi,yi)和坐标(xk,yk)为与顶点邻近边界点的不可填充区域的外扩区域的第一常数C和第二常数D,其中:

C为使不等式成立的常数值;

D为使不等式成立的常数值;

根据第一常数C和第二常数D确定顶点坐标(xj,yj)按照外扩参数L进行外扩的外扩区域的顶点坐标(xn,yn),其中:

如果xi=xj

如果xk=xj

其他,

5.一种冗余金属填充的系统,其特征在于,包括:

外扩区域获取模块,用于根据设计要求对不可填充区域进行外扩,得到外扩区域;

待填充区域获取模块,用于对所述外扩区域进行余量分析,得到待填充区域;

矩形化模块,用于对待填充区域进行矩形化处理,得到各矩形待填充区域;

填充模块,用于在各矩形待填充区域进行冗余金属填充;

所述外扩区域获取模块包括:

设定单元,用于根据设计要求设定外扩参数L;

顶点坐标获取单元,用于对不可填充区域进行矩形化处理,得到不可填充区域的各矩形的各顶点坐标;

外扩顶点坐标获取单元,用于利用不可填充区域的各矩形的各顶点坐标,计算按照所述外扩参数L进行外扩的各外扩区域的各顶点坐标。

6.根据权利要求5所述的系统,其特征在于,所述待填充区域获取模块包括:

最小距离获取单元,用于获取最小不可填充距离d;

非填充外扩区域获取单元,用于将与外扩区域有重叠部分的非填充区域外扩d/2,得到各非填充外扩区域;

待填充区域获取单元,用于将去除各非填充外扩区域的所述外扩区域作为待填充区域。

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