[发明专利]一种冗余金属填充的方法及系统有效
申请号: | 201610119214.X | 申请日: | 2016-03-02 |
公开(公告)号: | CN107153720B | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 曹鹤;陈岚;刘建云;石显锋;张贺 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G06F30/39 | 分类号: | G06F30/39;H01L21/768 |
代理公司: | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人: | 周放;江怀勤 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 冗余 金属 填充 方法 系统 | ||
1.一种冗余金属填充的方法,其特征在于,包括步骤:
根据设计要求对不可填充区域进行外扩,得到外扩区域;
对所述外扩区域进行余量分析,得到待填充区域;
对待填充区域进行矩形化处理,得到各矩形待填充区域;
在各矩形待填充区域进行冗余金属填充;
所述根据设计要求对不可填充区域进行外扩,得到外扩区域包括:
根据设计要求设定外扩参数L;
对不可填充区域进行矩形化处理,得到不可填充区域的各矩形的各顶点坐标;
利用不可填充区域的各矩形的各顶点坐标,计算按照所述外扩参数L进行外扩的各外扩区域的各顶点坐标。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述对所述外扩区域进行余量分析,得到待填充区域包括:
获取最小不可填充距离d;
将与外扩区域有重叠部分的非填充区域外扩d/2,得到各非填充外扩区域;
将去除各非填充外扩区域的所述外扩区域作为待填充区域。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述对待填充区域进行矩形化处理,得到各矩形待填充区域之后,所述方法还包括:
确定各矩形待填充区域的填充优先级,包括:
计算各矩形待填充区域质心到所述不可填充区域质心的距离;
设定所述距离越大的矩形待填充区域的填充优先级越高;
所述在各矩形待填充区域进行冗余金属填充包括:根据所述填充优先级对各矩形待填充区域进行冗余金属填充。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述利用不可填充区域的各矩形的各顶点坐标,计算按照所述外扩参数L进行外扩的各外扩区域的各顶点坐标包括:
计算以坐标(xj,yj)为顶点,坐标(xi,yi)和坐标(xk,yk)为与顶点邻近边界点的不可填充区域的外扩区域的第一常数C和第二常数D,其中:
C为使不等式成立的常数值;
D为使不等式成立的常数值;
根据第一常数C和第二常数D确定顶点坐标(xj,yj)按照外扩参数L进行外扩的外扩区域的顶点坐标(xn,yn),其中:
如果xi=xj,
如果xk=xj,
其他,
5.一种冗余金属填充的系统,其特征在于,包括:
外扩区域获取模块,用于根据设计要求对不可填充区域进行外扩,得到外扩区域;
待填充区域获取模块,用于对所述外扩区域进行余量分析,得到待填充区域;
矩形化模块,用于对待填充区域进行矩形化处理,得到各矩形待填充区域;
填充模块,用于在各矩形待填充区域进行冗余金属填充;
所述外扩区域获取模块包括:
设定单元,用于根据设计要求设定外扩参数L;
顶点坐标获取单元,用于对不可填充区域进行矩形化处理,得到不可填充区域的各矩形的各顶点坐标;
外扩顶点坐标获取单元,用于利用不可填充区域的各矩形的各顶点坐标,计算按照所述外扩参数L进行外扩的各外扩区域的各顶点坐标。
6.根据权利要求5所述的系统,其特征在于,所述待填充区域获取模块包括:
最小距离获取单元,用于获取最小不可填充距离d;
非填充外扩区域获取单元,用于将与外扩区域有重叠部分的非填充区域外扩d/2,得到各非填充外扩区域;
待填充区域获取单元,用于将去除各非填充外扩区域的所述外扩区域作为待填充区域。
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