[发明专利]一种保护环数量的测试方法及装置有效

专利信息
申请号: 201610130581.X 申请日: 2016-03-08
公开(公告)号: CN105652176B 公开(公告)日: 2018-06-05
发明(设计)人: 曹云;林晓帆;于明 申请(专利权)人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 潘彦君;吴敏
地址: 201203 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 测试方法及装置 中间区域 虚拟层 测试 区域对应 复杂度
【权利要求书】:

1.一种保护环数量的测试方法,其特征在于,所述保护环置于PMOS及NMOS之间,所述保护环包括X个P型有源区及Y个N型有源区,X、Y均为自然数,所述方法包括:

确定介于所述PMOS及所述NMOS之间的中间区域范围;

在所述中间区域范围内,获取与介于所述P型有源区与所述N型有源区之间的区域对应的虚拟层;

计算所述虚拟层的数量,作为所述保护环的数量。

2.根据权利要求1所述的保护环数量的测试方法,其特征在于,所述在所述中间区域范围内,获取与介于所述P型有源区与所述N型有源区之间的区域对应的虚拟层,包括:

获取介于所述P型有源区与所述N型有源区之间的区域;

生成与介于所述P型有源区与所述N型有源区之间的区域对应的虚拟层。

3.根据权利要求2所述的保护环数量的测试方法,其特征在于,所述确定介于所述PMOS及所述NMOS之间的中间区域范围,包括:

确定所述PMOS的器件沟道区域及其对应的四个顶点坐标;

确定所述NMOS的器件沟道区域及其对应的四个顶点坐标;

将所述PMOS的器件沟道区域与所述NMOS的器件沟道区域正对的、且距离最短的两边上的四个顶点坐标所确定的区域,作为介于所述PMOS及所述NMOS之间的中间区域范围。

4.根据权利要求3所述的保护环数量的测试方法,其特征在于,所述PMOS的器件沟道区域与所述NMOS的器件沟道区域正对的、且距离最短的两边的距离≤50微米。

5.根据权利要求2所述的保护环数量的测试方法,其特征在于,所述获取介于所述P型有源区与所述N型有源区之间的区域,包括:

确定所述P型有源区;

确定所述N型有源区;

在所述中间区域范围内,将任意相邻的所述P型有源区与所述N型有源区之间的矩形区域,作为所述介于所述P型有源区与所述N型有源区之间的区域。

6.根据权利要求5所述的保护环数量的测试方法,其特征在于,所述相邻的P型有源区与所述N型有源区之间距离≤50微米。

7.一种保护环数量的测试装置,其特征在于,所述保护环置于PMOS及NMOS之间,所述保护环包括X个P型有源区及Y个N型有源区,X、Y均为自然数,所述装置包括:

中间区域确定单元,适于确定介于所述PMOS及所述NMOS之间的中间区域范围;

虚拟层获取单元,适于在所述中间区域范围内,获取与介于所述P型有源区与所述N型有源区之间的区域对应的虚拟层;

计算单元,适于计算所述虚拟层的数量,作为所述保护环的数量。

8.根据权利要求7所述的保护环数量的测试装置,其特征在于,所述虚拟层获取单元,包括:

区域获取子单元,适于获取介于所述P型有源区与所述N型有源区之间的区域;

虚拟层生成子单元,适于生成与介于所述P型有源区与所述N型有源区之间的区域对应的虚拟层。

9.根据权利要求8所述的保护环数量的测试装置,其特征在于,所述中间区域确定单元,包括:

第一区域确定子单元,适于确定所述PMOS的器件沟道区域及其对应的四个顶点坐标;

第二区域确定子单元,适于确定所述NMOS的器件沟道区域及其对应的四个顶点坐标;

中间区域确定子单元,适于将所述PMOS的器件沟道区域与所述NMOS的器件沟道区域正对的、且距离最短的两边上的四个顶点坐标所确定的区域,作为介于所述PMOS及所述NMOS之间的中间区域范围。

10.根据权利要求9所述的保护环数量的测试装置,其特征在于,所述PMOS的器件沟道区域与所述NMOS的器件沟道区域正对的、且距离最短的两边的距离≤50微米。

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