[发明专利]一种薄膜桥火工品桥区的制备方法在审
| 申请号： | 201610133005.0 | 申请日： | 2016-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN105737681A | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 朱雪婷;韩玉成;魏栩曼;严勇;温占福;陈庆红;袁敏生;吕胜权 | 申请（专利权）人： | 中国振华集团云科电子有限公司 |
| 主分类号： | F42B3/198 | 分类号： | F42B3/198 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 550018 贵州省*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 桥火工品桥区 制备 方法 | ||
1.一种薄膜桥火工品桥区的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：
1）以FR-5玻纤板（1）为基板，以聚酰亚胺（3）干膜作为粘结层，采用热压贴合工艺将NiCr合金箔（2）牢固地贴于FR-5玻纤板（1）上；
2）采用MEMS微机械加工工艺，在NiCr合金箔（2）上光刻出薄膜桥区部分。
2.根据权利要求1所述的薄膜桥火工品桥区的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中采用热压贴合工艺将NiCr合金箔（2）牢固地贴于FR-5玻纤板（1）上的具体步骤如下：
A、将从冰箱取出解冻后的聚酰亚胺（3）固体膜用裁纸刀裁成基板大小，撕开聚酰亚胺（3）固体胶透明面的保护膜，将撕开面平整贴在FR-5玻纤板（1）上；
B、将贴好的基板，胶面朝上放在真空快压机内进行压合，压合时间为10-30s，温度为75-90℃，压力为10-25kg；
C、取出压合好的基板，将聚酰亚胺（3）固膜表面的透明保护膜撕掉；
D、取出NiCr合金箔（2）将箔材平整贴在基板上，将贴好箔材的基板放在假贴机内进行压合，压合时间为10-20s，温度为80-90℃，压力为10-18kg；
E、将假贴机上贴好的箔材基板放在真空传压机内进行经行压合，压合时间为40-100min，温度为150-200℃，压力为100-110kg；
F、从真空传压机内取出基板放在花篮内待加工。
3.根据权利要求1所述的薄膜桥火工品桥区的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中在NiCr合金箔（2）上光刻出薄膜桥区部分的具体步骤如下：
A、在贴好NiCr合金箔（2）的FR-5基板上旋涂SUN-116P正性光刻胶，转速为2000r/min，时间为30-50s；
B、将旋涂好光刻胶的基板放置于加热平台上进行烘干，烘干温度为100℃，时间为80-100s；
C、将烘好的基板进行曝光，曝光时间为110-130/光强；
D、用SUN-238D显影液进行显影，显影时间为40-50s；
E、将显影好的基板放置于加热平台上进行后续烘干，后续烘干的温度为120℃，时间为80-100s；
F、对曝光显影好的基板进行刻蚀，刻蚀出NiCr合金箔（2）桥区图形，NiCr合金箔（2）的刻蚀液为：三氯化铁∶甲醇∶盐酸=50g∶50ml∶7ml，并水浴40℃；
G、去胶，用丙酮去除NiCr合金箔（2）桥区部分残余的光刻胶，并用去离子水清洗，用N2吹干。
4.根据权利要求3所述的薄膜桥火工品桥区的制备方法，其特征在于，所述真空快压机的型号为MY-KYZ45T。
5.根据权利要求3所述的薄膜桥火工品桥区的制备方法，其特征在于，所述假贴机的型号为MY-JT6045。
6.根据权利要求3所述的薄膜桥火工品桥区的制备方法，其特征在于，所述真空传压机的型号为MY-CYZ260T。
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