[发明专利]一种薄膜桥火工品桥区的制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及火工品制备技术领域，具体是一种薄膜桥火工品桥区的制备方法。

背景技术

火工品是将控制信息(或能量)转换为发火能量，激发火工药剂化学反应，以特定的序列传递与放大燃烧或爆炸能量，实现点火、起爆、做功或产生特征效应的一次性使用的器件、装置及系统的总称。薄膜桥火工品为一次性使用的元件在民用爆破，国防军事，航空等领域有广泛的应用和需求。

目前，传统的薄膜桥火工品主要采用的是磁控溅射法来制备薄膜桥，但由于磁控溅射法制备的薄膜桥会在电信号加载过程中容易出现电子迁移现象，致使电阻桥本身产生火花量不足，最终导致薄膜桥的点火可靠性与一致性较差。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可靠性高、一致性好的薄膜桥火工品桥区的制备方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种薄膜桥火工品桥区的制备方法，具体步骤如下：

1）以FR-5玻纤板为基板，以聚酰亚胺干膜作为粘结层，采用热压贴合工艺将NiCr合金箔牢固地贴于FR-5玻纤板上；

2）采用MEMS微机械加工工艺，在NiCr合金箔上光刻出薄膜桥区部分。

作为本发明进一步的方案：所述步骤（1）中采用热压贴合工艺将NiCr合金箔牢固地贴于FR-5玻纤板上的具体步骤如下：

A、将从冰箱取出解冻后的聚酰亚胺固体膜用裁纸刀裁成基板大小，撕开聚酰亚胺固体胶透明面的保护膜，将撕开面平整贴在FR-5玻纤板上；

B、将贴好的基板，胶面朝上放在真空快压机内进行压合，压合时间为10-30s，温度为75-90℃，压力为10-25kg；

C、取出压合好的基板，将聚酰亚胺固膜表面的透明保护膜撕掉；

D、取出NiCr合金箔将箔材平整贴在基板上，将贴好箔材的基板放在假贴机内进行压合，压合时间为10-20s，温度为80-90℃，压力为10-18kg；

E、将假贴机上贴好的箔材基板放在真空传压机内进行经行压合，压合时间为40-100min，温度为150-200℃，压力为100-110kg；

F、从真空传压机内取出基板放在花篮内待加工。

作为本发明进一步的方案：所述步骤（2）中在NiCr合金箔上光刻出薄膜桥区部分的具体步骤如下：

A、在贴好NiCr合金箔的FR-5基板上旋涂SUN-116P正性光刻胶，转速为2000r/min，时间为30-50s；

B、将旋涂好光刻胶的基板放置于加热平台上进行烘干，烘干温度为100℃，时间为80-100s；

C、将烘好的基板进行曝光，曝光时间为110-130/光强；

D、用SUN-238D显影液进行显影，显影时间为40-50s；

E、将显影好的基板放置于加热平台上进行后续烘干，后续烘干的温度为120℃，时间为80-100s；

F、对曝光显影好的基板进行刻蚀，刻蚀出NiCr合金箔桥区图形，NiCr合金箔的刻蚀液为：三氯化铁∶甲醇∶盐酸=50g∶50ml∶7ml，并水浴40℃；

G、去胶，用丙酮去除NiCr合金箔桥区部分残余的光刻胶，并用去离子水清洗，用N₂吹干。

作为本发明进一步的方案：所述真空快压机的型号为MY-KYZ45T。

作为本发明进一步的方案：所述假贴机的型号为MY-JT6045。

作为本发明再进一步的方案：所述真空传压机的型号为MY-CYZ260T。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

（1）本发明以FR-5玻纤板为基板材料，因其导热系数较陶瓷基板的低，可以使薄膜桥区在民用爆破点火过程中点火能量聚集，不易从基板流失，并且因基板具有良好的阻燃性能，可以保护点火电路不被破坏，以免造成不必要的损失。

（2）本发明以聚酰亚胺作为粘结层，可解决传统的胶水在热压过程中的流淌对NiCr合金箔造成二次污染的问题。

（3）以NiCr合金箔作为薄膜桥区材料，因其箔材的致密度较磁控溅射的NiCr合金膜的好，可有效解决薄膜桥在电信号加载过程中容易出现电子迁移现象，致使点火可靠性与一致性差的问题。

附图说明

图1为本发明制备得到的桥区部分示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

实施例1

请参阅图1，本发明实施例中，一种薄膜桥火工品桥区的制备方法，具体步骤如下：