[发明专利]层叠结构空间光调制器缺陷检测中掩膜的提取方法及系统

权利要求书

1.一种层叠结构空间光调制器缺陷检测中掩膜的提取方法，其特征在于， 包括以下步骤：

S1：获取空间光调制器在预设波长范围下照射形成的图像；

S2：对所述图像进行二值化处理得到掩膜标识；

S3：对所述图像进行膨胀腐蚀，得到所述掩膜标识的区域。

2.根据权利要求1所述的层叠结构空间光调制器缺陷检测中掩膜的自动 提取方法，其特征在于，在步骤S3中，所述膨胀腐蚀是通过上位机的软件实 现的。

3.一种层叠结构空间光调制器缺陷检测中掩膜的提取系统，其特征在于， 包括：

光源，用于提供预设范围的波长照射空间光调制器；

图像采集装置，用于采集所述光源照射所述空间光调制器形成的图像；

二值化处理模块，用于对所述图像进行而治化处理得到掩膜标识；以及

上位机，用于通过软件对所述图像进行膨胀腐蚀得到所述掩膜标识的区域。