[发明专利]层叠结构空间光调制器缺陷检测中掩膜的提取方法及系统

说明书

技术领域

本发明设计层叠结构空间光调制器的缺陷检测领域，具体涉及一种层叠结 构空间光调制器缺陷检测中掩膜的提取方法及系统。

背景技术

空间光调制器是一种利用信号在时间或空间上控制光源的振幅、相位或偏 振状态等传播状态，以便有效地利用光的固有速度、并行性和互连能力的器件。 1968年，美国RCA公司发明了世界上第一台液晶显示屏幕——电寻LC-SCM。 1971年，美国休斯公司J.D.Margerum等人研制出了第一台透射式液晶光调制 器，从此空间光调制器得到广泛应用。同年，瑞士罗切公司的W.Helfrich和 Schadt发现了扭曲丝状液晶场效应，使得液晶显示技术迅速发展。

空间光调制器是现代光信息处理系统中一个非常关键的器件，它性能的好 坏直接决定了系统的处理能力。空间光调制器以其分辨率高、信息存储量大被 广泛地应用于军事、医疗、工业生产等领域。在人们的日常生活中，最常见的 就是层叠结构的空间光调制器。层叠结构空间光调制器以其结构简单、体积小、 质量轻等特点广受人们的欢迎，最常见的莫过于液晶屏了。

在工业生产中，厂商往往需要对层叠结构空间光调制器进行缺陷检测以确 保层叠结构空间光调制器能够实现其功能。然而，层叠结构空间光调制器往往 有多个部分组成。以智能手机上的液晶面板为例，一般而言它由背光源、上下 两层偏光片、上下两层玻璃基板、ITO透明导电层、薄膜晶体管、液晶分子层、 滤光片以及框胶等构成。能够准确地检测出缺陷的位置对于厂家节省成本、追 究责任等具有非常大的现实意义。

然而，层叠结构空间光调制器的表面往往会有一层掩膜，生产人员需要根 据掩膜上的信息正确分辨出层叠结构空间光调制器的方向，同时掩膜还能在运 输的过程中起到保护的作用。为了防止灰尘污染、划伤等，在缺陷检测的过程 中，厂商们往往会选择带着掩膜直接进行缺陷检测，因而如何进行掩膜的自动 提取对与提高缺陷检测的正确率以及速度，对于提高生产效率、减少生产成本 意义重大。

发明内容

本发明旨在至少解决上述技术问题之一。

为此，本发明的第一个目的在于提出一种层叠结构空间光调制器缺陷检测 中掩膜的提取方法。

本发明的第二个目的在于提出一种层叠结构空间光调制器缺陷检测中掩 膜的提取系统。

为了实现上述目的，本发明的实施例公开了一种层叠结构空间光调制器缺 陷检测中掩膜的提取方法，包括以下步骤：S1：获取空间光调制器在预设波长 范围下照射形成的图像；S2：对所述图像进行二值化处理得到掩膜标识；S3： 对所述图像进行膨胀腐蚀，得到所述掩膜标识的区域。

根据本发明实施例的层叠结构空间光调制器缺陷检测中掩膜的提取方法， 提高空间光调制器缺陷检测的正确率和效率，提高空间光调制器的生产效率、 降低生产成本。

另外，根据本发明上述实施例的层叠结构空间光调制器缺陷检测中掩膜的 提取方法，还可以具有如下附加的技术特征：

进一步地，在步骤S3中，所述膨胀腐蚀是通过上位机的软件实现的。

为了实现上述目的，本发明的实施例公开了一种层叠结构空间光调制器缺 陷检测中掩膜的提取系统，包括：光源，用于提供预设范围的波长照射空间光 调制器；图像采集装置，用于采集所述光源照射所述空间光调制器形成的图像； 二值化处理模块，用于对所述图像进行而治化处理得到掩膜标识；以及上位机， 用于通过软件对所述图像进行膨胀腐蚀得到所述掩膜标识的区域。

根据本发明实施例的层叠结构空间光调制器缺陷检测中掩膜的提取系统， 提高空间光调制器缺陷检测的正确率和效率，提高空间光调制器的生产效率、 降低生产成本。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描 述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中 将变得明显和容易理解，其中：

图1是本发明一个实施例的层叠结构空间光调制器缺陷检测中掩膜的提 取方法的流程图；

图2是本发明一个实施例的被测物体的结构示意图；

图3是本发明一个实施例的层叠结构空间光调制器在白色背光源所成像 的灰度图像；

图4是本发明一个实施例对图3进行二值化处理后的示意图；