[发明专利]显示面板的信号线制作方法

权利要求书

1.一种显示面板的信号线制作方法，其特征在于：所述显 示面板的信号线制作方法包含下列步骤：

步骤1：提供一金属膜层；

步骤2：涂布一光阻层于所述金属膜层上；

步骤3：对所述光阻层进行曝光及显影处理；

步骤4：对所述光阻层进行灰化处理，以去除一定厚度的所 述光阻层，进而一并去除对应曝光区域的残留光阻，以形成图案 化的光阻层；

步骤5：对所述金属膜层进行蚀刻处理；以及

步骤6：去除所述图案化的光阻层。

2.如权利要求1所述的显示面板的信号线制作方法，其特 征在于：步骤3使用一曝光机结合一掩膜对所述光阻层进行局部 曝光，其中所述掩膜的细缝图案超过所述曝光机的曝光能力。

3.如权利要求2所述的显示面板的信号线制作方法，其特 征在于：步骤3进行显影处理时，使用显影液将所述光阻层中受 到曝光的光阻部分溶解去除；其中显影处理后的光阻层对应曝光 区域的位置仍有残留光阻。

4.如权利要求1所述的显示面板的信号线制作方法，其特 征在于：所述金属膜层是单一的金属层或是复合金属层。

5.如权利要求4所述的显示面板的信号线制作方法，其特 征在于：所述金属膜层材质选自铜、铝、铬、钼、钽或其合金。

6.如权利要求1所述的显示面板的信号线制作方法，其特 征在于：所述灰化处理是利用局部加热的方式。

7.如权利要求1所述的显示面板的信号线制作方法，其特 征在于：所述灰化处理是利用激光照射的方式。

8.如权利要求1所述的显示面板的信号线制作方法，其特 征在于：所述灰化处理是利用氧电浆灰化工艺的方式。