[发明专利]激光处理方法、柔性产品的制造方法和显示装置

权利要求书

1.一种激光处理方法，其特征在于，包括:

在待处理部件的正面或背面沉积一层激光防护膜；

剥离第一区域的所述激光防护膜，保留欲保护器件或功能膜层对应区域的 所述激光防护膜，所述第一区域至少包括欲进行激光处理的区域；

以所述激光防护膜为掩膜，进行激光处理工艺。

2.根据权利要求1所述的激光处理方法，其特征在于，利用光刻工艺，剥 离第一区域的所述激光防护膜，保留欲保护器件或功能膜层对应区域的所述激 光防护膜。

3.根据权利要求2所述的激光处理方法，其特征在于，所述光刻工艺包括 涂覆光刻胶、曝光和刻蚀工序。

4.根据权利要求1所述的激光处理方法，其特征在于，所述激光防护膜为 能够吸收激光辐射的薄膜。

5.根据权利要求4所述的激光处理方法，其特征在于，所述激光防护膜包 括下述任意一种材质的薄膜或者下述多种材质的复合薄膜：

N型硅、P型硅、氧化铟锡、铟镓锌氧化物、铟锡锌氧化物。

6.根据权利要求1所述的激光处理方法，其特征在于，所述激光处理工艺 包括：激光切割工艺，和/或，激光剥离工艺。

7.一种激光处理方法，其特征在于，包括:在掩膜板遮挡下进行激光处理工 艺；

所述掩膜板的遮挡部分设置有激光防护膜，对应欲保护器件或功能膜层对 应区域；所述掩膜板的透光部分对应欲进行激光处理的区域。

8.一种柔性产品的制造方法，其特征在于，采用了权利要求1-6任一项所述 的激光处理方法，或者采用了权利要求7所述的激光处理方法。

9.一种显示装置，其特征在于，制作过程采用了权利要求1-6任一项所述的 激光处理方法，或者采用了权利要求7所述的激光处理方法。