[发明专利]一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶有效
| 申请号： | 201610160460.X | 申请日： | 2016-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN105624620B | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 杨元才;郑战伟;钱鹏亮;朱振东;林晨;周通;谭新 | 申请（专利权）人： | 上海福宜真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201821 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 带气路 结构 精简 小型 圆形 平面 | ||
【权利要求书】：
1.一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶，包括波纹管和设置在波纹管上方的过渡法兰，过渡法兰外侧设置有安装法兰，安装法兰外侧设置阳极罩,阳极罩内部设置阴极主体部件，其特征在于：在波纹管内侧纵向设置一个进气管，所述进气管的末端伸入过渡法兰的凹槽中，在所述安装法兰的左侧和右侧分别设置一个倾斜气孔，所述倾斜气孔与进气管相通，所述倾斜气孔与阳极罩内侧与阴极主体部件外侧形成的缝隙相连通。
2.根据权利要求1所述的一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶，其特征在于，所述进气管的出气口与安装法兰倾斜气孔所在平面成90°。
3.根据权利要求1所述的一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶，其特征在于，所述阳极罩内表面呈波纹形状，所述安装法兰外侧呈波纹状，阳极罩内表面与安装法兰的外侧相匹配。
4.根据权利要求3所述的一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶，其特征在于，所述阳极罩与安装法兰通过螺纹紧固。
5.根据权利要求1所述的一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶，其特征在于，所述波纹管与过渡法兰焊接连接，所述波纹管与进气管焊接连接，所述过渡法兰和安装法兰通过焊接相连。
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