[发明专利]一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶

说明书

技术领域

本发明涉及机械加工技术领域，具体为一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶。

背景技术

近年来磁控溅射技术的应用日趋广泛，在工业生产和科学研究领域发挥巨大作用。磁控溅射技术可以制备超硬膜、耐腐蚀摩擦薄膜、超导薄膜、磁性薄膜、光学薄膜,以及各种具有特殊功能的薄膜。当然这些种类繁多和功能各异的薄膜的出现，离不开企业、高校和科研院所对磁控溅射技术的研究和实践。

在研发过程中如果使用尺寸较大的矩形平面阴极或旋转阴极，不可避免的会造成靶材的浪费，而且使用矩形平面阴极和旋转阴极也意味着设备尺寸的增大，这些都会占用比较多的研发资金。而使用小型圆形靶就会避免这种情形的发生，可以在小的圆形靶和小型设备上先行摸索、试验出镀膜工艺，最后在大的生产线上实践，转化为规模效益。

为此，针对上述技术问题，本发明提出一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶，实用性强，一定程度上解决上述技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶，包括波纹管和设置在波纹管上方的过渡法兰，过渡法兰外侧设置有安装法兰，安装法兰外侧设置阳极罩,阳极罩内部设置阴极主体部件，其中，在波纹管内侧纵向设置一个进气管，所述进气管的末端伸入过渡法兰的凹槽中，在所述安装法兰的左侧和右侧分别设置一个倾斜气孔，所述倾斜气孔与进气管相通，所述倾斜气孔与阳极罩内侧与阴极主体部件外侧形成的缝隙相连通。

优选的，所述进气管的出气口与安装法兰倾斜气孔所在平面成90°。

一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶，其中，所述阳极罩内表面呈波纹形状，所述安装法兰外侧呈波纹状，阳极罩内表面与安装法兰的外侧相匹配。

优选的，所述阳极罩与安装法兰通过螺纹紧固。

优选的，所述波纹管与过渡法兰焊接连接，所述波纹管与进气管焊接连接，所述过渡法兰和安装法兰通过焊接相连。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本专利提供了一种磁路可以转动的旋转阴极，磁路方向转变时，靶原子轰击的方向相应改变，就不需要在阴极和基底之间添加挡板机构，可以简化镀膜设备并节省设备空间。

附图说明

图1是圆形靶总装及进气管道剖视图；

图2是圆形靶总装及气体分流剖视图；

图3是圆形靶总装及接线柱剖视图；

图4是圆形靶总装及水冷接口剖视图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图1、图2、图3、图4中，1是安装法兰，2是固定环，3是绝缘法兰，4是阳极罩，5是环磁铁，6是靶材压罩，7是靶材，8是柱磁铁，9是靶座，10是轭铁，11是固定法兰，12是固定螺栓，13是定位环，14是过渡法兰，15是进气管，16是波纹管，17是转向夹板a，18是第一螺栓，19是第二螺栓，20是第二转向夹板，21是卡箍，22是接线柱，23是第一胶圈，24是第三螺栓，25是水接头，26是第二胶圈。

如图1所示，一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶，包括波纹管16和设置在波纹管16上方的过渡法兰14，过渡法兰14外侧设置有安装法兰1，安装法兰1外侧设置阳极罩4,阳极罩4内部设置阴极主体部件，其中，在波纹管16内侧纵向设置一个进气管15，所述进气管15的末端伸入过渡法兰14的凹槽中，在所述安装法兰1的左侧和右侧分别设置一个倾斜气孔，所述倾斜气孔与进气管15相通，所述倾斜气孔与阳极罩4内侧与阴极主体部件外侧形成的缝隙相连通。

作为本发明的一个优选的实施例，所述进气管的出气口与安装法兰1倾斜气孔所在平面成90°。

一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶，其中，所述阳极罩4内表面呈波纹形状，所述安装法兰1外侧呈波纹状，其阳极罩内表面与安装法兰的外侧相匹配。

作为本发明的一个优选的实施例，所述阳极罩4与安装法兰1通过螺纹紧固。

作为本发明的一个优选的实施例，所述波纹管16、过渡法兰14、进气管15和安装法兰1通过焊接相连。