[发明专利]基于多线阵CCD平行拼接的二维位置光学测量系统有效
申请号: | 201610172575.0 | 申请日: | 2016-03-24 |
公开(公告)号: | CN105698684B | 公开(公告)日: | 2018-08-28 |
发明(设计)人: | 刘爱敏;肖茂森;高立民;陆卫国;王海霞;贾乃勋 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 陈广民 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 多线阵 ccd 平行 拼接 二维 位置 光学 测量 系统 | ||
1.基于多线阵CCD平行拼接的二维位置光学测量系统,包括光源合作目标、共用物镜、分光镜组和线阵CCD组;所述光源合作目标由光源经匀光系统照亮刻划板形成;所述线阵CCD组中每个线阵CCD的像素长度均能覆盖一维测量;其特征在于:
所述共用物镜设置在能够接收光源合作目标所发出的光线的位置处;
所述分光镜组包括依次设置在共用物镜输出光路上的多个分光镜,依次记为第一分光镜,第二分光镜,第三分光镜,……,第N分光镜;
所述线阵CCD组包括与所述分光镜一一对应的多个线阵CCD,依次记为第一线阵CCD,第二线阵CCD,第三线阵CCD,……,第N线阵CCD,且每个线阵CCD通过各自光路分别与光源合作目标共轭;每个线阵CCD的光敏面位于空间直角坐标系的YOZ平面,光敏长度方向与空间直角坐标系的OZ轴平行;
当线阵CCD的数量N为奇数时,第(N+1)/2线阵CCD的光敏长度方向相对于系统的各路输出光轴无Y向平移距离,且相邻两个线阵CCD之间的Y向间距均为像方高度的1/N;
当线阵CCD的数量N为偶数时,第N/2线阵CCD的光敏长度方向相对于其所在光路的光轴沿Y向平移1/2N,第N/2+1线阵CCD的光敏长度方向相对其所在光路的光轴沿Y向平移-1/2N,且相邻两个线阵CCD之间的Y向间距均为像方高度的1/N;
所述光源合作目标的Y向尺寸大于系统在Y向测量范围的1/N;所述刻划板上的刻线不能交叉,刻线在像方的最小间距大于1个像元;
测量时,将待测物体与在光源合作目标固连;光源合作目标经共用物镜、分光镜组后分别成像于第一线阵CCD、第二线阵CCD,第三线阵CCD,……,第N线阵CCD上,由第一线阵CCD、第二线阵CCD,第三线阵CCD,……,第N线阵CCD共同完成光源合作目标的二维位置测量。
2.根据权利要求1所述的基于多线阵CCD平行拼接的二维位置光学测量系统,其特征在于:在分光镜组和线阵CCD组之间的光路上设置有场镜组。
3.根据权利要求2所述的基于多线阵CCD平行拼接的二维位置光学测量系统,其特征在于:所述刻划板上的刻划目标为M形、V形或N形,刻线宽度在像方占3~5个像元大小。
4.根据权利要求3所述的基于多线阵CCD平行拼接的二维位置光学测量系统,其特征在于:所述分光镜组由第一分光镜、第二分光镜、第三分光镜,……,第N分光镜胶合组成;所述第一分光镜为直角棱镜,其余分光镜均为斜方棱镜。
5.根据权利要求4所述的基于多线阵CCD平行拼接的二维位置光学测量系统,其特征在于:所述第一分光镜和第二分光镜的胶合面的透射率与反射率之比为(1-1/N):1/N,第二分光镜和第三分光镜的胶合面的透射率与反射率之比为1-(1/(N-1)):1/(N-1),第三分光镜和第四分光镜的胶合面的透射率与反射率之比为1-(1/(N-2)):1/(N-2),……,第N-2分光镜和第N-1分光镜的胶合面的透射率与反射率之比为0.67:0.33,第N-1分光镜和第N分光镜的胶合面的透射率与反射率之比为0.5:0.5。
6.根据权利要求5所述的基于多线阵CCD平行拼接的二维位置光学测量系统,其特征在于:所述分光镜组由第一分光镜、第二分光镜和第三分光镜胶合组成。
7.根据权利要求1或5或6所述的基于多线阵CCD平行拼接的二维位置光学测量系统,其特征在于:所述共用物镜、分光镜组和场镜组为宽谱段光学组件或窄谱段光学组件。
8.根据权利要求6所述的基于多线阵CCD平行拼接的二维位置光学测量系统,其特征在于:所述光源合作目标由激光、LED或者宽谱段照明光源经匀光系统照亮刻划板形成;所述第一分光镜和第二分光镜的胶合面、第二分光镜和第三分光镜的胶合面均镀有颜色分光膜。
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