[发明专利]多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具有效

专利信息
申请号: 201610182836.7 申请日: 2016-03-28
公开(公告)号: CN105734564B 公开(公告)日: 2018-06-26
发明(设计)人: 王三胜 申请(专利权)人: 北京鼎臣世纪超导科技有限公司
主分类号: C23C26/00 分类号: C23C26/00;H01L39/24
代理公司: 北京中企鸿阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11487 代理人: 刘葛;郭鸿雁
地址: 100094 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 固定夹具 双面超导薄膜 活动夹具 多片 超导薄膜 基片夹具 生产效率 固定爪 基片夹 连接耳 化学溶液法 批次一致性 镊子 一次烧制 镊子夹 批量化 放入 生产成本 损伤 组装 节约 保证 生产
【权利要求书】:

1.一种多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具,包括托杆,其特征在于:还包括基片夹,基片夹包括连接杆、半圆形固定夹具、半圆形活动夹具,连接杆上设置一组或多组半圆形固定夹具,每组包括多个半圆形固定夹具,每组的多个半圆形固定夹具沿连接杆的外壁均匀设置,并与连接杆固定连接,每个半圆形固定夹具的内环面上对称设置一对第一固定爪,每个半圆形固定夹具的两端分别设置第一连接耳,半圆形活动夹具的数量与半圆形固定夹具相同,每个半圆形活动夹具的内环面上对称设置一对第二固定爪,第二固定爪的形状与第一固定爪相同,每个半圆形活动夹具的两端分别设置第二连接耳,第二连接耳与第一连接耳可连接在一起,将半圆形活动夹具与半圆形固定夹具组装在一起。

2.根据权利要求1所述的多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具,其特征在于:所述第一固定爪的内表面为圆弧形。

3.根据权利要求2所述的多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具,其特征在于:所述第一固定爪和第二固定爪在半圆形活动夹具与半圆形固定夹具组成的内环面上均匀布置。

4.根据权利要求3所述的多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具,其特征在于:每组所述半圆形固定夹具的数量为2-4个。

5.根据权利要求2所述的多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具,其特征在于:所述托杆的上端设置内螺纹,连接杆的下端设置与托杆上内螺纹相匹配的外螺纹,连接杆下端与托杆上端通过螺纹固定在一起,并通过圆形螺母锁紧。

6.根据权利要求5所述的多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具,其特征在于:所述托杆的下端设置销孔。

7.根据权利要求6所述的多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具,其特征在于:所述销孔的上、下侧对称设置上、下凸榫。

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