[发明专利]多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具

说明书

本发明属于利用化学溶液法批量化生产大面积单面或双面超导薄膜技术领域，目的是提供一种使用方便、提高生产效率、降低生产成本的新型多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具，基片夹包括多个半圆形固定夹具和半圆形活动夹具，实现了一次烧制多片超导薄膜基片，提高了超导薄膜的生产效率，降低了生产成本，不损伤样品，同时保证了样品的批次一致性。使用时先用镊子夹持基片放入半圆形固定夹具的第一固定爪内，用镊子固定，然后将半圆形活动夹具与半圆形固定夹具扣合，使基片处于基片夹的四个固定爪内，将第一连接耳和第二连接耳固定在一起，即可将半圆形活动夹具与半圆形固定夹具组装在一起，无需进行多余的调整，安装非常方便，节约了安装时间。

技术领域

本发明属于利用化学溶液法批量化生产大面积单面或双面超导薄膜技术领域，特别是涉及一种多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具。

背景技术

由于YBCO高温超导薄膜在无线通讯领域具有良好的应用前景，国内大面积超导薄膜的研究落后于一些发达国家，而我国的高温超导微波器件研究又急需国内大面积YBCO双面薄膜研究作为支撑。目前，化学溶液法在制备大面积单面或双面超导薄膜的方面得到了广泛的研究，该方法不需要真空系统和昂贵设备，成本低，容易规模化，同时薄膜的组分容易控制，制备的涂层导体具有较好的性能。但是该方法在制备过程中热处理工艺耗时较长，为进一步降低生产成本、提高薄膜生产效率，除了对薄膜的热处理工艺进行优化外，研发一次可以烧制多片大面积超导薄膜的基片夹具在实现薄膜规模化生产上有着重要的实际意义。

采用化学溶液方法制备大面积单面或双面超导薄膜需要在600-900℃的高温环境下反应几个小时，这期间需要采用旋转的方式保证多个基片受气、受热的一致性，同时要保证样品匀速绕其轴线旋转，要求夹具强度高，夹持稳定，无挥发污染。样品在高温处理过程中会发生一定量的膨胀、收缩，因此夹具夹持的设计必须要保证基片在不断旋转的情况下不受损伤，同时保证样品安装拆卸简单方便。

申请人先前申请的公开号为CN102808175A的发明专利记载了一种新型大面积单面或双面超导薄膜基片夹具，由主夹具和副夹具构成，主夹具由圆形夹具及圆筒形托杆A构成，圆形夹具上半圆的内环缘上布设有两对成对的固定爪A，下半圆内圆环缘上布设有两个成单的固定爪B，副夹具由半圆形槽及圆筒形托杆B构成，半圆形槽内圆环缘上布设有两个固定爪C。该夹具存在的问题是一次仅能烧制一片超导薄膜，生产效率低，生产成本高；且需要主夹具与副夹具配合，使用时需要谨慎调节主夹具圆形夹具及副夹具半圆形槽的位置，使副夹具半圆形槽的上侧与主夹具圆形夹具的下半圆完全重合，同时保证半圆形槽的上侧平面与圆形夹具上半圆的上平面在同一平面上，使主夹具圆形夹具下半圆上成单的固定爪B与副夹具半圆环内缘上的固定爪C组成一对上下完全对称的固定爪，且固定爪C的上平面与圆形夹具中固定爪A的上平面位于同一平面上。因此安装过程不方便，需要谨慎调节，影响生产效率。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种使用方便、提高生产效率、降低生产成本的多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具，包括托杆，其中还包括基片夹，基片夹包括连接杆、半圆形固定夹具、半圆形活动夹具，连接杆上设置一组或多组半圆形固定夹具，每组包括多个半圆形固定夹具，每组的多个半圆形固定夹具沿连接杆的外壁均匀设置，并与连接杆固定连接，每个半圆形固定夹具的内环面上对称设置一对第一固定爪，每个半圆形固定夹具的两端分别设置第一连接耳，半圆形活动夹具的数量与半圆形固定夹具相同，每个半圆形活动夹具的内环面上对称设置一对第二固定爪，第二固定爪的形状与第一固定爪相同，每个半圆形活动夹具的两端分别设置第二连接耳，第二连接耳与第一连接耳可连接在一起，将半圆形活动夹具与半圆形固定夹具组装在一起。

本发明多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具，进一步的，所述第一固定爪的内表面为圆弧形。