[发明专利]在线密封检测装置、多节式密封腔加工设备及方法

权利要求书

1.在线密封检测装置，设置于两个部件的对接面，其特征在于，包括：

密封圈，其安装于所述两个部件的对接面内，所述密封圈内设有周向的至少一腔室；

进出气单元，其连通所述腔室的内部，所述进出气单元上设置有至少一检测单元，所述检测单元电连接处理器，用于检测所述进出气单元内的气体压力值和/或气体浓度值，然后将所述气体压力值和/或气体浓度值发送至所述处理器；

所述进出气单元上设置进气控制部和/或出气控制部，其分别电连接所述处理器，所述处理器在收到所述气体压力值和/或气体浓度值后，与所述处理器内预设的值进行对比，然后所述处理器根据对比结果控制所述进气控制部和出气控制部通过所述进出气单元对所述腔室进行加气和/或减气。

2.根据权利要求1所述的在线密封检测装置，其特征在于，所述进出气单元为管路。

3.根据权利要求1所述的在线密封检测装置，其特征在于，所述进气控制部和出气控制部为电磁阀或气动阀。

4.根据权利要求1所述的在线密封检测装置，其特征在于，所述检测单元包括压力传感器和/或浓度传感器。

5.根据权利要求1所述的在线密封检测装置，其特征在于，所述处理器还电连接报警单元，所述处理器在收到所述气体压力值和/或气体浓度值后，根据设定控制所述报警单元向外界报警。

6.多节式密封腔加工设备，包括至少两个相对接的真空装置，所述真空装置内设有腔体，其特征在于，所述至少两个真空装置的部件的对接面上设置有如权利要求1-5任一所述的在线密封检测装置。

7.根据权利要求6所述的多节式密封腔加工设备，其特征在于，所述真空装置为手套箱。

8.在线密封检测方法，其特征在于，采用权利要求1-5任一所述的在线密封检测装置进行检测，包括以下步骤：

1)在所述两个部件的对接面内安装密封圈，并在所述密封圈内设置周向的至少一腔室；

2)设置连接所述腔室的进出气单元，并在所述进出气单元上设置有至少一检测单元，将所述检测单元电连接处理器，所述检测单元检测所述进出气单元内的气体压力值和/或气体浓度值，然后将所述气体压力值和/或气体浓度值发送至所述处理器；

3)在所述进出气单元上设置进气控制部和/或出气控制部，其分别电连接所述处理器，所述处理器在收到所述气体压力值和/或气体浓度值后，与所述处理器内预设的值进行对比，然后所述处理器根据对比结果控制所述进气控制部和出气控制部通过所述进出气单元对所述腔室进行加气和/或减气。