[发明专利]在线密封检测装置、多节式密封腔加工设备及方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种密封检测技术，具体涉及一种在线密封检测装置、多节式密封腔加工设备及方法。

背景技术

在科学研究和工业生产中，常常会用到真空设备、高压设备、生物隔离设备以及惰性气氛环境设备等需要内部具有真空环境的加工设备。这些设备可以为科学研究及工业生产创造各种工作环境，由此来满足各种不同的严苛工艺需求。但是，这些设备都是创立一个与外界不一样的独立的环境空间，这就需要密封起来与外界隔绝。如果设备不密封就很难实现优秀的科研生产环境，也无法满足严苛的要求。如果对设备进行密封之后，后续就需要在生产过程中进行密封检验，以及对使用过程中密封进行监控或者对用户使用后出现不密封时进行诊断。

目前的密封检测通常采用氦质谱检测仪，需要借助专门的检测仪器，并且还需要使用到氦气等，不能实现实时且在线的监控；尤其是对于的多节式的大型互联设备，检测工作还得是人工对每个密封面一一检测，工作量非常巨大，还十分影响检测效率。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种可以实现在线监控且可以适应多节式密封腔加工设备的在线密封检测装置、多节式密封腔加工设备及方法。

为了达到上述目的，本发明的技术方案如下：

在线密封检测装置，设置于两个部件的对接面，其包括：

密封圈，其安装于两个部件的对接面内，该密封圈内设有周向的至少一腔室；

进出气单元，其连通腔室的内部，该进出气单元上设置有至少一检测单元，该检测单元电连接处理器，用于检测进出气单元内的气体压力值和/或气体浓度值，然后将气体压力值和/或气体浓度值发送至处理器。

本发明的在线密封检测装置主要设置了密封圈和进出气单元等，在通过具有周向的腔室的密封圈密封两个部件的对接面后，再将进出气单元连通腔室的内部，该腔室可以负压或正压，亦可充特殊气体，然后通过检测单元来检测进出气单元内的气体压力值和/或气体浓度值，处理器再开始做分析和判断，由此便可以快速地知道腔室内是否存在漏气现象，也可以进而知道腔体内是否处于真空状态。

因此，本发明与现有技术相比，可以实现对腔体室密封的在线检测，且可以同时对多节式密封腔加工设备的各工位进行检测，有效地提高对于多节式密封腔加工设备的密封检测效率，更加适应多节式密封腔加工设备的检测要求，从而可以更好更方便地在线对真空设备、高压设备、生物隔离设备，以及惰性气氛环境设备等的生产与使用过程中的密封进行检测与监控，尤其是大型互联设备的检测与监控。

在上述技术方案的基础上，本发明还可以作如下改进：

作为优选的方案，上述的进出气单元上设置进气控制部和/或出气控制部，其分别电连接处理器，该处理器在收到气体压力值和/或气体浓度值后，与处理器内预设的值进行对比，然后处理器根据对比结果控制进气控制部和出气控制部通过进出气单元对腔室进行加气和/或减气。

采用上述优选的方案，可以实现对于腔体内的真空度的及时和自动化的调整。

作为优选的方案，上述的进出气单元为管路。

采用上述优选的方案，可以便于气体的通过，也可以便于对于密封的检测。

作为优选的方案，上述的进气控制部和出气控制部为电磁阀或气动阀。

采用上述优选的方案，可以便于对进气和出气的自动化控制。

作为优选的方案，上述的检测单元包括压力传感器和/或浓度传感器。

采用上述优选的方案，可以实现对于压力和浓度的检测。

作为优选的方案，上述的处理器还电连接报警单元，处理器在收到气体压力值和/或气体浓度值后，根据设定控制报警单元向外界报警。

采用上述优选的方案，可以提示外界知道设备内真空度的变化。

多节式密封腔加工设备，包括至少两个相对接的真空装置，该真空装置内设有腔体，该至少两个真空装置的部件的对接面上设置有上述在线密封检测装置。

本发明的多节式密封腔加工设备采用了上述的在线密封检测装置，因此具有与其相同的技术效果。

作为优选的方案，上述的真空装置为手套箱。

采用上述优选的方案，可以使得在线密封检测装置直接应用于手套箱。

在线密封检测方法，其包括以下步骤：

1)在两个部件的对接面内安装密封圈，并在密封圈内设置周向的至少一腔室；