[发明专利]一种超纯氢的全温程变压吸附纯化方法

权利要求书

1.一种超纯氢的全温程变压吸附纯化方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）预处理工序：采用一次性固体吸附，在包含至少两个吸附塔的吸附装置中进行，吸附装置中总有一个在进行吸附，其余吸附塔转出离线再生或更换新的吸附剂；作为原料气的氢气从塔底进入，吸附除杂后的较纯氢气从吸附塔顶部排出进入下一个工序，原料气中的少量水、氮、氧以及微量碳氢化合物等被吸附剂吸附；

（2）中冷变压吸附超纯化工序：在中冷变压吸附系统中进行，经预处理净化后的较纯H₂从吸附塔底部进入进行吸附，吸附压力为0.05~3.5MPa，操作温度为-80~-10℃，多台吸附塔交替循环操作，保证经预处理净化后的有效气体连续进入；进一步被吸附的水、氮、氧、微量碳氢化合物等杂质组分解吸后从吸附塔底部排出，送入解吸气罐；吸附后的超纯氢作为产品气从吸附塔顶部排出送出界区。

2.如权利要求1所述的一种超纯氢的全温程变压吸附纯化方法，其特征在于，所述中冷变压吸附超纯化工序的系统由N个吸附塔组成，N为大于1的自然数；其中1～N-1个吸附塔处于吸附状态，其余吸附塔处于再生状态。

3.如权利要求1所述的一种超纯氢的全温程变压吸附纯化方法，其特征在于，所述中冷变压吸附系统的解吸方式为冲洗降压。

4.如权利要求1或2所述的一种超纯氢的全温程变压吸附纯化方法，其特征在于，所述中冷变压吸附系统的吸附塔内装填料是活性炭、硅胶、活性氧化铝、分子筛的一种或多种。

5.如权利要求1所述的一种超纯氢的全温程变压吸附纯化方法，其特征在于，所述进入全温程变压吸附系统的原料气是一种体积含量为98%以上的氢气。