[发明专利]压印材料排出装置及压印设备有效

专利信息
申请号: 201610197474.9 申请日: 2016-03-31
公开(公告)号: CN106042650B 公开(公告)日: 2018-01-02
发明(设计)人: 新井刚;三田裕;高桥祐一;荒木義雅;石桥达 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: B41J2/175 分类号: B41J2/175;B41J2/14
代理公司: 北京魏启学律师事务所11398 代理人: 魏启学
地址: 日本东京都大*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 压印 材料 排出 装置
【权利要求书】:

1.一种压印材料排出装置,其向基板排出压印材料,通过使模具与所述压印材料接触来在所述压印材料上形成图案,所述压印材料排出装置包括:

收纳构件,其包括收纳所述压印材料的收纳部;

通路,其与所述收纳部连接;以及

排出构件,其包括用于排出所述压印材料的排出口、产生用于从所述排出口排出所述压印材料的能量的能量产生元件和布置在所述能量产生元件与所述排出口之间的区域,

其特征在于,所述通路具有第一开口和第二开口,所述第一开口将收纳在所述收纳部中的压印材料供给到所述通路中并在所述收纳部中开口,所述第二开口向所述收纳部供给从所述第一开口供给的所述压印材料并在所述收纳部中开口,并且

所述通路的所述第一开口和所述第二开口之间布置有对所述压印材料进行过滤的过滤器,从所述第二开口向所述收纳部供给从所述第一开口供给到所述通路中、而未穿过所述区域的所述压印材料。

2.根据权利要求1所述的压印材料排出装置,其中,所述过滤器不布置在所述收纳部与所述排出构件之间。

3.根据权利要求1所述的压印材料排出装置,其中,所述能量产生元件为压电元件。

4.根据权利要求1所述的压印材料排出装置,其中,所述收纳构件包括分离膜,所述分离膜使所述收纳部与填充有填充液体的填充液体部分离。

5.根据权利要求4所述的压印材料排出装置,其中,通过控制填充所述填充液体部的所述填充液体的压力来控制所述收纳部中的压印材料的压力。

6.根据权利要求1所述的压印材料排出装置,其中,设置在所述第一开口和所述第二开口之间的所述通路中布置有泵。

7.根据权利要求6所述的压印材料排出装置,其中,当从所述第一开口向所述第二开口供给所述压印材料时,所述泵布置在所述过滤器的上游。

8.根据权利要求1所述的压印材料排出装置,其中,所述区域不位于使所述第一开口与所述第二开口彼此连接的直线上。

9.根据权利要求1所述的压印材料排出装置,其中,所述过滤器具有小于或等于10nm的平均孔径。

10.根据权利要求1所述的压印材料排出装置,其中,当从所述第一开口向所述第二开口供给所述压印材料时,在所述收纳部的表面之中,重力方向上的下表面为底表面,重力方向上的上表面为顶表面,与所述底表面和所述顶表面连接的表面为侧表面,并且所述第一开口和所述第二开口在所述收纳部的同一表面中开口。

11.根据权利要求1所述的压印材料排出装置,其中,当从所述第一开口向所述第二开口供给所述压印材料时,在所述收纳部的表面之中,重力方向上的下表面为底表面,重力方向上的上表面为顶表面,与所述底表面和所述顶表面连接的表面为侧表面,并且所述第一开口和所述第二开口在所述收纳部的不同表面中开口。

12.根据权利要求11所述的压印材料排出装置,其中,所述第一开口和所述第二开口在所述侧表面之中的两个相对的侧表面中开口。

13.根据权利要求11所述的压印材料排出装置,其中,所述第一开口在所述侧表面之中的一个侧表面中开口,所述第二开口在所述收纳部的顶表面中开口。

14.根据权利要求12所述的压印材料排出装置,其中,所述第一开口和所述第二开口在所述侧表面的比接近所述顶表面更接近所述底表面的部分中开口。

15.根据权利要求1所述的压印材料排出装置,其中,所述收纳部经由大气连通口与大气连通。

16.根据权利要求13所述的压印材料排出装置,其中,所述顶表面设置有捕获空气的凹部。

17.根据权利要求1所述的压印材料排出装置,其中,当从所述第一开口向所述第二开口供给所述压印材料时,所述收纳部中的压印材料从所述排出口排出。

18.根据权利要求17所述的压印材料排出装置,其中,所述压印材料排出装置还包括被构造成调节所述收纳部中的压力的压力调节单元,所述压力调节单元使所述收纳部中的压印材料从所述排出口排出。

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