[发明专利]瞬间真空提供装置有效
| 申请号： | 201610200863.2 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN105892355B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 张德龙 | 申请（专利权）人： | 威格气体纯化科技（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 何蔚 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空度测量 真空度调节 腔体 真空提供装置 处理控制部 实时测量 真空环境 腔室 室内 管路连接腔 控制真空度 处理控制 启闭单元 腔体连通 抽真空 低成本 电连接 高效率 真空泵 反馈 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于威格气体纯化科技（苏州）股份有限公司，未经威格气体纯化科技（苏州）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610200863.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
