[发明专利]瞬间真空提供装置有效
| 申请号： | 201610200863.2 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN105892355B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 张德龙 | 申请（专利权）人： | 威格气体纯化科技（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 何蔚 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空度测量 真空度调节 腔体 真空提供装置 处理控制部 实时测量 真空环境 腔室 室内 管路连接腔 控制真空度 处理控制 启闭单元 腔体连通 抽真空 低成本 电连接 高效率 真空泵 反馈 | ||
【说明书】：
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