[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括真空室、转盘架、加热电极、多个工件支架及驱动装置，所述真空室包括相对的顶壁和底壁，所述转盘架设置于所述真空室的底壁且收容于所述真空室，所述加热电极设置于所述转盘架的中央位置，所述工件支架安装于所述转盘架上，所述加热电极包括第一电极、第二电极和第三电极，所述第一电极和所述第二电极之间设置有多个第一承载架，所述第二电极和所述第三电极之间设置有多个第二承载架，所述第一承载架和所述第二承载架用于承载蒸镀材料，所述驱动装置用于驱动所述转盘架旋转，当所述第一电极及所述第二电极工作时，所述第三电极不工作，第一承载架上的蒸镀材料逸出，且所述转盘架沿顺时针方向旋转，直至所述第一承载架上的蒸镀材料出完之后，停止所述转盘架并关闭所述第一电极和所述第二电极，此时无蒸镀材料逸出，所述转盘架停止一定时间后，所述第二电极及所述第三电极工作时，所述第一电极不工作，从而使所述第二承载架上的蒸镀材料逸出，且所述转盘架沿逆时针方向旋转。

2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，多个所述工件支架可旋转地安装于所述转盘架上，当所述转盘架沿顺时针方向旋转时，所述工件支架绕所述加热电极顺时针公转且逆时针自转，当所述转盘架沿逆时针方向旋转时，所述工件支架绕所述加热电极逆时针公转且顺时针自转。

3.如权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一电极的极性与所述第二电极的极性相反，所述第一电极的极性与所述第三电极的极性相同。

4.如权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一承载架和所述第二承载架的材质包括导热材料。

5.如权利要求1至4任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，所述驱动装置包括电机、第一齿轮和多个第二齿轮，所述第一齿轮与所述转盘架同轴设置，每个所述第二齿轮分别与一根所述工件支架同轴设置，所述电机驱动所述第一齿轮转动时，所述第一齿轮带动所述转盘架转动，且带动所述第二齿轮自转，所述第二齿轮带动所述工件支架自转。

6.如权利要求1至4任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，所述工件支架及所述加热电极均向所述真空室的顶壁所在的一侧延伸。

7.一种蒸镀方法，其特征在于，使用权利要求1至6任一项所述的蒸镀装置进行镀膜，包括：

在工件支架上悬挂工件；

在第一承载架和第二承载架上均放置蒸镀材料；

启动驱动装置，使转盘架沿顺时针方向旋转，所述转盘架带动所述工件支架绕加热电极沿顺时针方向公转；启动第一电极和第二电极，使所述第一承载架上的所述蒸镀材料逸出，所述蒸镀材料的逸出物沉积到所述工件上；

所述第一承载架上的蒸镀材料逸出完后，关闭所述第一电极和所述第二电极，并关闭驱动装置，使所述转盘架停止旋转；

启动驱动装置，使转盘架沿逆时针方向旋转，所述转盘架带动所述工件支架绕加热电极沿逆时针方向公转；启动第二电极和第三电极，使所述第二承载架上的所述蒸镀材料逸出，所述蒸镀材料的逸出物沉积到所述工件上。

8.如权利要求7所述的蒸镀方法，其特征在于，所述“启动驱动装置，使转盘架沿顺时针方向旋转，所述转盘架带动所述工件支架绕加热电极沿顺时针方向公转”包括：

所述工件支架还逆时针自转，使所述工件绕所述工件支架沿逆时针方向转动；

所述“启动驱动装置，使转盘架沿逆时针方向旋转，所述转盘架带动所述工件支架绕加热电极沿逆时针方向公转”包括：

所述工件支架还顺时针自转，使所述工件绕所述工件支架沿顺时针方向转动。

9.如权利要求8所述的蒸镀方法，其特征在于，所述“启动驱动装置，使转盘架沿顺时针方向旋转，所述转盘架带动所述工件支架绕加热电极沿顺时针方向公转；启动第一电极和第二电极，使所述第一承载架上的所述蒸镀材料逸出，所述蒸镀材料的逸出物沉积到所述工件上”包括：

使所述转盘架沿顺时针方向旋转持续60秒～80秒。

10.如权利要求9所述的蒸镀方法，其特征在于，所述“所述第一承载架上的蒸镀材料逸出完后，关闭第一电极和第二电极，并关闭驱动装置，使所述转盘架停止旋转”与所述“启动驱动装置，使所述转盘架沿逆时针方向旋转，所述转盘架带动所述工件支架绕加热电极沿逆时针方向公转；启动第二电极和第三电极，使所述第二承载架上的所述蒸镀材料逸出，所述蒸镀材料的逸出物沉积到所述工件上”之间包括：

使所述转盘架停止旋转15秒～20秒。