[发明专利]一种α相氮化硅的生产方法及α相氮化硅在审
申请号: | 201610208339.X | 申请日: | 2016-04-05 |
公开(公告)号: | CN107285772A | 公开(公告)日: | 2017-10-24 |
发明(设计)人: | 潘小龙;黄彬;张吉武;刘兴平;宋娟娟 | 申请(专利权)人: | 新特能源股份有限公司 |
主分类号: | C04B35/584 | 分类号: | C04B35/584;C04B35/626 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人: | 彭瑞欣,张天舒 |
地址: | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市乌鲁*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氮化 生产 方法 | ||
1.一种α相氮化硅的生产方法,其特征在于,包括以下步骤:
将原料硅和氮气通入到至少两级串联的流化床装置内进行反应,反应温度为200~1280℃,得到α相氮化硅。
2.根据权利要求1所述的α相氮化硅的生产方法,其特征在于,所述流化床装置为2~6级串联。
3.根据权利要求1所述的α相氮化硅的生产方法,其特征在于,所述流化床装置内的压力为0.05~0.4MPaG。
4.根据权利要求1所述的α相氮化硅的生产方法,其特征在于,在串联的每级流化床装置内的所述反应时间为40~160秒。
5.根据权利要求1所述的α相氮化硅的生产方法,其特征在于,所述硅的粒径为50~300μm。
6.根据权利要求1~5任意一项所述的α相氮化硅的生产方法,其特征在于,所述反应时在所述流化床装置内还通入能够分离或疏散硅固体相的添加剂。
7.根据权利要求6所述的α相氮化硅的生产方法,其特征在于,所述添加剂为粒径大于所述原料硅的添加剂硅或者粒径大于所述原料硅的添加剂α相氮化硅。
8.根据权利要求6所述的α相氮化硅的生产方法,其特征在于,所述硅粉与所述添加剂的质量比为(4~9):1。
9.根据权利要求1~5任意一项所述的α相氮化硅的生产方 法,其特征在于,所述至少两级串联的流化床装置由至少两个独立的流化床串联而成和/或所述流化床装置的反应腔室内设置有至少一个折流机构,所述折流机构用于将所述反应腔室分隔为互相连通的至少两个子腔室。
10.一种α相氮化硅,其特征在于,其由权利要求1~9任意一项所述的方法生产。
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