[发明专利]稀土倍半氧化物激光晶体的导模法生长方法有效

专利信息
申请号: 201610210217.4 申请日: 2016-04-06
公开(公告)号: CN105671629B 公开(公告)日: 2018-10-02
发明(设计)人: 杭寅;徐民;张连翰 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: C30B15/34 分类号: C30B15/34;C30B29/22
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 张泽纯;张宁展
地址: 201800 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 稀土 氧化物 激光 晶体 导模法 生长 方法
【说明书】:

发明涉及稀土倍半氧化物激光晶体的导模法生长方法,晶体的化学式表示为(LnxRe1‑x)2O3,其中0<x<0.5,Ln=Yb、Nd、Dy、Ho、Er、Tm、Pr,Re=Y、Sc、Lu、Gd。晶体生长包括装炉、熔料、生长和冷却四个步骤,利用导模中狭缝对熔体的虹吸作用,生长出所需形状和尺寸的稀土倍半氧化物激光晶体。本发明能有效抑制高温熔体表面漂浮物对晶体光学质量的影响,在较短周期内制备出数厘米的晶体,工艺操作简单,并可减少晶体加工过程中晶料的损耗,成本低廉。

技术领域

本发明涉及稀土倍半氧化物晶体材料的制备方法,属于激光晶体材料领域。

背景技术

稀土倍半氧化物晶体Re2O3(Re=Y、Sc、Lu、Gd)具有高热导率、低声子能量、优良的光学和光谱特性,是一类优良的激光基质晶体材料,通过掺入适当的稀土激活离子(Yb、Nd、Dy、Ho、Er、Tm、Pr),形成激光晶体(化学式表示为(LnxRe1-x)2O3)可以产生可见光至中红外多波段的激光输出,在工业加工、通讯、医疗、军事及科研等领域有广阔的应用前景。

Re2O3或(LnxRe1-x)2O3晶体熔点很高(2400℃以上),生长该类晶体的坩埚只能选择高熔点的材料,如钨或铼坩埚。高温条件下,这些坩埚材料容易形成化合物成分漂浮于熔体表面,对晶体的光学质量有影响。生长这一类晶体的技术难度很大,至今报道该类晶体的方法有提拉法、微下拉法、热交换法、浮区法、助溶剂法、水热法、坩埚下降法、激光加热基座法、焰熔法。导模法晶体生长方法具有生长周期短、晶体利用率高、异型结构生长以及熔体表面漂浮物对晶体生长质量无影响等优点,可以较快的速度生长出高质量晶体,并通过改变导模形状获得目标尺寸晶体。目前有关导模法生长稀土倍半氧化物激光晶体的方法未见报道。

发明内容

本发明提供一种稀土倍半氧化物激光晶体的导模法生长方法。该方法是在盛有原料熔体的坩埚中固定特定形状的导模,利用导模中狭缝对熔体从下至上的虹吸作用,避开熔体表面漂浮物成分对熔体污染的影响,从而生长出所需形状和尺寸的高质量(LnxRe1-x)2O3晶体。

本发明的技术解决方案如下:

一种稀土倍半氧化物激光晶体的导模法生长方法,包括如下步骤:

①装炉:将原料置于导模炉的坩埚中,安装导模、籽晶、温场,并密封炉膛通入保护性气氛气体,该保护性气氛气体为Ar、Ar+H2或Ar+CO,所述温场的温度梯度为5~40℃/cm;

②熔料:加热升温将原料全部熔化形成熔体,并过热10~30℃,恒温0.5~2小时后,将熔体降温至原料全部熔化时的温度(全熔点);

③生长:将籽晶缓慢摇下,与导模中的熔体液面接触成为一体,停留3~5min后开启提拉机构,适当升温使籽晶直径收细(收颈),逐渐降低导模表面温度进行放肩,当晶体覆盖整个导模表面时结束放肩,进行等径生长,待晶体生长至所需尺寸时,提拉晶体脱离熔体液面,完成生长,整个过程晶体提拉速率调节为1~50mm/h;

④冷却:晶体生长完毕后,对晶体降温冷却至室温,晶体降温冷却速率为20~200℃/h。

所述晶体的化学式为(LnxRe1-x)2O3,其中0&lt;x&lt;0.5,Ln=Yb、Nd、Dy、Ho、Er、Tm、Pr,Re=Y、Sc、Lu、Gd。

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