[发明专利]高纯氨充装系统及利用其充装高纯氨的充装方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种高纯氨充装系统及利用其充装高纯氨的充装方法，属于高纯氨充装技术领域。

背景技术

电子级高纯氨广泛用于半导体照明、平板显示、太阳能电池以及大规模集成电路制造领域中，这些新兴产业的发展为电子级高纯氨带来了新的市场需求。与此同时，电子级高纯氨的充装技术面临新的挑战。目前，电子级高纯氨采用钢瓶和槽车充装提供给客户使用。随着电子级高纯氨需求量的增加，槽车充装将占主导形式。槽车充装的传统做法是采用泵提供充装动力，充装时间较短，但存在污染高纯氨产品的风险。

发明内容

对此，本发明旨在提供一种免污染且能有效降低充装能耗的高纯氨充装系统及利用该充装系统充装高纯氨的充装方法。

实现本发明目的的技术方案是：

一种高纯氨充装系统，包括产品缓冲罐、产品罐和冷却装置，所述产品缓冲罐连接高纯氨生产线的采出端，其上装有检测产品缓冲罐液位的第一液位计，所述产品缓冲罐的液相接口通过第一液相管线与所述产品罐的液相接口连接，通过第二液相管线经充装站与槽车的液相接口连接，所述产品罐的气相接口通过产品罐气相管线经所述充装站与槽车的气相接口连接，在所述第一液相管线、所述第二液相管线及所述产品罐气相管线上分别设置有控制各管线通断的阀门，所述产品罐上设置有检测产品罐液位的第二液位计和检测产品罐内温度及压力的温度传感器，所述冷却装置用于对所述产品罐冷却降压。

上述技术方案中，所述冷却装置为冷却水装置。

一种利用上述充装系统充装高纯氨的充装方法，包括以下步骤：

S1：对槽车清洁处理后，槽车气、液相接口通过槽车气相管线、槽车液相管线连接至充装站，并通过所述充装站对槽车气相管线、槽车液相管线进行吹扫、保压、抽真空；

S2：所述产品罐内压力为P1，打开槽车及管线相应阀门使所述产品罐气相管线、槽车气相管线导通从而降低所述槽车内的压力，随着冷却装置的持续运行，使槽车内压力降至P1后，通过关闭槽车及管线相应阀门将产品罐气相管线、槽车气相管线切断，并通过关闭相应阀门将第一液相管线切断做充装前准备；

S3：来自生产线的高纯氨产品进入所述产品缓冲罐，所述产品缓冲罐内的压力为P2，P2-P1≥0.1MPa，打开相应阀门使所述第二液相管线及槽车液相管线导通，从而通过产品缓冲罐与槽车间的压差使高纯氨产品由所述产品缓冲罐向所述槽车内充装；

S4：充装完成后，关闭槽车液相接口处的阀门，并打开相应阀门使第一液相管线导通，高纯氨产品由产品缓冲罐进入产品罐。

上述技术方案中，P1≤0.3MPa，P2≥0.4MPa。

本发明具有积极的效果：采用本发明中的充装系统在充装高纯氨过程中避免了其它设备(如泵)对高纯氨产品的污染，使得生产的高纯氨产品直接充装，确保槽车内的高纯氨产品纯度与生产线上的高纯氨纯度一致；其次通过利用冷却装置降低产品罐压力后连通产品罐气相与槽车气相管线从而降低槽车压力，通过利用生产线上的高纯氨产品压力与槽车间的压差充装高纯氨产品至槽车，充装方便；考虑到高纯氨的物性特点，现有高纯氨生产线高纯氨产品罐储存方式为低温储存，因此在本发明中的充装系统中直接通过平衡产品罐与槽车内的压力来降低槽车压力，与其它充装工艺(如通过加温方式提高产品罐压力充装槽车)相比降低了充装过程中的充装能耗。

附图说明

图1为本发明中高纯氨充装系统的结构示意图。

图中所示附图标记为：1-产品缓冲罐；2-产品罐；3-第一液位计；4-第一液相管线；5-第二液相管线；6-槽车；7-产品罐气相管线；8-第二液位计；9-温度传感器；10-冷却装置；11-充装站；12-槽车气相管线；13-槽车液相管线。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本发明中的方案做以说明：

实施例1