[发明专利]沉积装置及沉积方法

权利要求书

1.一种沉积装置，包括：

多个衬底支承部，支承衬底的两端部并配置成能够上升和下降移动；

多个衬底夹持部，与所述衬底的两端部重叠地布置在所述多个衬底支承部中的每个的上方并配置成能够上升和下降移动；

多个拉伸块，布置在各所述衬底支承部与各所述衬底夹持部之间，并且所述多个拉伸块在各所述衬底夹持部下降移动时彼此远离地水平移动从而拉伸所述衬底；以及

多个推杆，能够上升和下降移动地布置在各所述拉伸块的内部并通过在所述拉伸块内部沿相对于竖直方向倾斜的方向下降移动使各所述拉伸块相对于所述衬底支承部和所述衬底夹持部水平移动以彼此远离。

2.如权利要求1所述的沉积装置，其中，各所述拉伸块包括插入孔，其中所述插入孔包括：

移动提供孔，提供供所述推杆下降的空间；以及

倾斜孔，当所述推杆下降移动时在倾斜的方向上引导所述推杆以使所述拉伸块水平移动。

3.如权利要求1所述的沉积装置，其中，

所述多个拉伸块中的每个和所述多个推杆中的每个构成衬底拉伸部，

所述衬底拉伸部，还包括：

第一引导部，布置在各所述衬底夹持部与各所述拉伸块之间并在所述拉伸块水平移动时引导所述拉伸块；

防滑垫，布置在各所述拉伸块与所述衬底支承部之间并且防止各所述拉伸块相对于所述衬底的滑动；

移动保持件，布置在各所述衬底支承部与所述防滑垫之间并且在所述拉伸块水平移动时一同移动；以及

第二引导部，布置在所述移动保持件与所述衬底支承部之间并且在所述移动保持件水平移动时引导所述移动保持件。

4.如权利要求1所述的沉积装置，其中，

各所述拉伸块和各所述推杆中构成衬底拉伸部，

所述衬底拉伸部，还包括：

第一引导部，布置在各所述衬底夹持部与各所述拉伸块之间并且在所述拉伸块水平移动时引导所述拉伸块；以及

滑垫，布置在各所述拉伸块与所述衬底支承部之间并且在所述拉伸块水平移动时使所述衬底滑动。

5.如权利要求1所述的沉积装置，其中，

各所述拉伸块插入各所述衬底支承部中并且与各所述推杆一同构成衬底拉伸部，

所述衬底拉伸部，还包括：

第一引导部，布置在各所述衬底夹持部与各所述拉伸块之间并且在所述拉伸块水平移动时引导所述拉伸块；

防滑垫，布置在所述第一引导部与所述衬底夹持部之间并且防止根据所述第一引导部的水平移动而移动的所述衬底相对于所述第一引导部的滑动；以及

滑垫，布置在各所述衬底夹持部与所述防滑垫之间并且使所述衬底滑动。

6.如权利要求1所述的沉积装置，还包括：

静电卡盘，布置在所述多个衬底夹持部之间；以及

掩模台，布置在所述静电卡盘的下方并支承掩模并且配置成能够上升和下降移动，

其中，所述静电卡盘包括：

第一电极部，配置成通过静电力将所述掩模卡持到所述静电卡盘上；

第二电极部，与所述第一电极部绝缘并配置成通过静电力将所述衬底卡持到所述静电卡盘上。

7.一种沉积装置，包括：

多个衬底支承部，支承衬底的两端部并配置成能够上升和下降移动；

多个衬底夹持部，与所述衬底的两端部重叠地布置在所述多个衬底支承部中的每个的上方并配置成能够上升和下降移动；

静电卡盘，布置在所述多个衬底夹持部之间；以及

掩模台，布置在所述静电卡盘的下方并支承掩模并且配置成能够上升和下降移动，

其中，所述静电卡盘包括：

第一电极部，配置成通过静电力将所述掩模卡持到所述静电卡盘上；

第二电极部，与所述第一电极部绝缘并且配置成通过静电力将所述衬底卡持到所述静电卡盘上，

其中，所述静电卡盘配置成首先通过所述第二电极部与所述衬底之间的静电力将所述衬底卡持到所述静电卡盘，并且配置成在所述掩模通过静电力卡持到所述静电卡盘上时，使所述第二电极部与所述衬底之间不存在将所述衬底卡持到所述静电卡盘上的静电力。