[发明专利]沉积装置及沉积方法

说明书

提供了沉积装置及沉积方法。作为示例，沉积装置包括：多个衬底支承部，支承衬底的两端部并配置成能够上升和下降移动；多个衬底夹持部，与所述衬底的两端部重叠地布置在所述多个衬底支承部中的每个的上方并配置成能够上升和下降移动；多个拉伸块，布置在所述各衬底支承部与所述各衬底夹持部之间，并且所述多个拉伸块在所述各衬底夹持部下降移动时彼此远离地水平移动从而拉伸所述衬底；以及多个推杆，能够上升和下降移动地布置在所述各拉伸块内部并通过下降移动使所述各拉伸块彼此远离地水平移动。

技术领域

本发明涉及沉积装置及沉积方法。

背景技术

液晶显示装置、等离子显示装置、有机发光显示装置等作为显示装置被广泛地使用。

这种显示装置可通过沉积工艺在衬底上沉积沉积物质而形成薄膜来制造。

为了在衬底上形成薄膜，在沉积工艺中衬底的端部被支承以暴露衬底的沉积面。但是，由于衬底随着显示装置被大型化而被大型化，因此在衬底中央部分中出现了严重的下垂现象。在这种情况下，在衬底与掩模的对齐过程中可能会发生误差。这种对齐误差导致沉积精度降低，因此可能导致在衬底上沉积沉积物质而形成的薄膜的图案上发生扭曲。

发明内容

对此，本发明要解决的问题在于提供可最大限度地减少衬底的下垂以提高沉积精度的沉积装置。

此外，本发明要解决的问题在于提供可最大限度地减少衬底的下垂以提高沉积精度的沉积方法。

本发明的问题不限于上文中提及的技术问题，并且本领域技术人员可通过下面的记载明确理解未提及的其它的技术问题。

用于实现上述目的的根据本发明一实施方式的沉积装置包括多个衬底支承部、多个衬底夹持部、多个拉伸块和多个推杆，其中，多个衬底支承部支承衬底的两端部并配置成能够上升和下降移动，多个衬底夹持部与上述衬底的两端部重叠地布置在上述各衬底支承部的上方并配置成能够上升和下降移动，多个拉伸块布置在上述各衬底支承部与上述各衬底夹持部之间，并且上述多个拉伸块在上述各衬底夹持部下降移动时彼此远离地水平移动从而拉伸上述衬底，并且多个推杆能够上升和下降移动地布置在上述各拉伸块的内部并通过下降移动使上述各拉伸块彼此远离地水平移动。

上述各拉伸块可包括插入孔，其中，插入孔包括提供供上述推杆下降的空间的移动提供孔和当上述推杆下降移动时在倾斜的方向上引导上述推杆以使上述拉伸块水平移动。

上述各拉伸块和上述各推杆可构成衬底拉伸部，并且上述衬底拉伸部还可包括第一引导部、防滑垫、移动保持件和第二引导部，其中，第一引导部布置在上述各衬底夹持部与上述各拉伸块之间并在上述拉伸块水平移动时引导上述拉伸块，防滑垫布置在上述各拉伸块与上述衬底支承部之间并且防止上述各拉伸块相对于上述衬底的滑动，移动保持件布置在上述各衬底支承部与上述防滑垫之间并且在上述拉伸块水平移动时一同移动，并且第二引导部布置在上述移动保持件与上述衬底支承部之间并且在上述移动保持件水平移动时引导上述移动保持件。

上述衬底拉伸部还可包括布置于上述各衬底支承部的侧部与上述移动保持件的侧部之间的弹性体。

上述各拉伸块和上述各推杆可构成衬底拉伸部，并且上述衬底拉伸部还可包括第一引导部和滑垫，其中，第一引导部布置在上述各衬底夹持部与上述各拉伸块之间并且在上述拉伸块水平移动时引导上述拉伸块，并且滑垫布置在上述各拉伸块与上述衬底支承部之间并且在上述拉伸块水平移动时使上述衬底滑动。

上述各拉伸块可布置成插入上述各衬底支承部中并且与上述各推杆一同构成衬底拉伸部，并且上述衬底拉伸部还可包括第一引导部、防滑垫及滑垫，其中，第一引导部布置在上述各衬底夹持部与上述各拉伸块之间并且在上述拉伸块水平移动时引导上述拉伸块，防滑垫布置在上述第一引导部与上述衬底夹持部之间并且防止根据上述第一引导部的水平移动而移动的上述衬底相对于上述第一引导部的滑动，并且滑垫布置在上述各衬底夹持部与上述防滑垫之间并且使上述衬底滑动。