[发明专利]准同步激光封装系统及方法有效
申请号: | 201610284183.3 | 申请日: | 2016-04-29 |
公开(公告)号: | CN107331590B | 公开(公告)日: | 2019-06-25 |
发明(设计)人: | 黄元昊 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | H01J9/26 | 分类号: | H01J9/26 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 同步 激光 封装 系统 方法 | ||
1.一种准同步激光封装系统,用于密封玻璃封装体,所述玻璃封装体包括盖板玻璃、玻璃料、基板玻璃、OLED层及电极,其特征在于,所述激光封装系统包括:控制器模块、激光器模块、激光扫描模块、温度测量控制模块及上位机;其中,
所述激光器模块用于发出激光束并传输至所述激光扫描模块;
所述激光扫描模块用于将所述激光束投射于所述玻璃料上,并沿密封线扫描所述玻璃料;
所述温度测量控制模块用于测量一个或多个时刻激光光斑照射处对应玻璃料的温度,输出激光功率控制信号至所述控制器模块;
所述控制器模块用于同步控制所述激光器模块与激光扫描模块,以当前采集的激光功率控制信号或根据预定的功率控制曲线对所述激光功率控制信号进行修正,并以修正后的激光功率控制信号输出至所述激光器模块,实现激光功率调整操作和激光移动扫描操作同步,所述控制器模块还用于产生激光扫描速度控制信号,并以所述修正后的激光功率控制信号为基准,对所述激光扫描速度控制信号进行修正,并以修正后的激光扫描速度控制信号输出至所述激光扫描模块,实现激光扫描速度调整操作和激光移动扫描操作的同步。
2.如权利要求1所述的准同步激光封装系统,其特征在于,所述控制器模块是单个控制器,或多个控制器组合形成的控制系统,或集成安装于所述上位机中的控制板卡。
3.如权利要求1所述的准同步激光封装系统,其特征在于,所述激光扫描模块包含有伺服运动机构,用于改变所述激光束的方向,使所述激光束以一固定轴为基准,沿任意方向偏转一角度。
4.如权利要求3所述的准同步激光封装系统,其特征在于,所述激光束的偏转方向与偏转角度由所述控制器模块发送至所述激光扫描模块的控制信号控制。
5.如权利要求3所述的准同步激光封装系统,其特征在于,所述激光束的输出功率以及所述激光器模块的开启和关闭由所述控制器模块发送至所述激光器模块的控制信号控制。
6.如权利要求5所述的准同步激光封装系统,其特征在于,所述控制器模块将所述激光束的输出功率以及所述激光器模块的开启和关闭与所述伺服运动机构的运动相匹配。
7.一种准同步激光封装方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一、提供一激光束投射至玻璃料上,使所述激光束沿密封线扫描所述玻璃料一周,同时采集一个或多个时刻激光光斑照射处对应玻璃料的温度,所述一周为一个扫描周期;
步骤二、在一个扫描周期内,通过将采集的温度值与设定温度值进行比较和计算,获得激光功率控制信号,根据所述激光功率控制信号或根据预定的功率控制曲线对所述激光功率控制信号进行修正,并以修正后的激光功率控制信号调整所述激光束,实现激光功率调整操作和激光移动扫描操作同步,以所述修正后的激光功率控制信号为基准,对激光扫描速度控制信号进行修正,并以修正后的激光扫描速度控制信号调整所述激光束,实现激光扫描速度调整操作和激光移动扫描操作的同步,在下一个扫描周期内,以修正后的激光功率控制信号和以修正后的激光扫描速度控制信号调整所述激光束,使所述激光束在预定位置发生预定变化,实现所述密封线上各点在一个扫描周期内获得均匀的温升,扫描的同时采集一个或多个时刻激光光斑照射处对应玻璃料的温度;
步骤三、重复步骤二直至所述玻璃料获得足够的能量,将盖板玻璃与基板玻璃连接在一起,形成气密式密封。
8.如权利要求7所述的准同步激光封装方法,其特征在于,所述预定位置包括固定位置和非固定位置,所述固定位置包括位于所述基板玻璃上的电极区和所述密封线的拐角处,所述非固定位置为所述密封线中的直线段。
9.如权利要求8所述的准同步激光封装方法,其特征在于,一个或多个时刻对应的温度采集点是扫描路径上的固定位置或扫描路径上的非固定位置。
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