[发明专利]检测或补正位置系统及其方法

权利要求书

1.一种检测或补正位置系统，其特征在于，包含有：

一基座；

一视觉测量单元，其设于该基座，该视觉测量单元设有一定位标记；以及

一控制单元，其电性连接该视觉测量单元；

其中，该基座承载一待测物，该待测物设定有多个预定位置，各预定位置具有一待测点；该检测或补正位置系统执行一校正程序或一检测程序；于执行该校正程序时，在该待测物设定至少一预定位置，该视觉测量单元依序移动至各该预定位置，当该视觉测量单元移动至每一该预定位置时，该视觉测量单元撷取一影像信息并将该影像信息传送给该控制单元，该控制单元计算该影像信息中的该定位标记与最邻近该定位标记的该待测点之间的距离，从而产生对应该预定位置的一补正值，并予以补正及记录；于执行该检测程序时，该控制单元根据该补正值控制该视觉测量单元的位置，

该控制单元具有一演算模块、一补偿模块与一记录模块，该演算模块接收该影像信息，以计算出该定位标记与最邻近该定位标记的该待测点之间的距离，并将该距离传送给该补偿模块，以产生该补正值，该补偿模块将该补正值传送给该视觉测量单元与该记录模块，该记录模块储存该补正值；该待测物为一待测基板或一待测面板，当该待测物为待测基板时，该待测点为一晶体管；当该待测物为待测面板时，该待测点为一像素。

2.根据权利要求1所述的检测或补正位置系统，其特征在于，还包含一第一移动机构、一第二移动机构、一第三移动机构与一载台，该第一移动机构设于该基座并可相对于该待测物于第一方向移动，该第二移动机构设于该第一移动机构，该第二移动机构可相对于该待测物于第二方向移动，该第三移动机构设于该第二移动机构，该第三移动机构可相对于该待测物于第三方向移动，该第三移动机构、该第二移动机构与该第一移动机构电性连接该控制单元；该载台设于该基座，该载台供设置该待测物。

3.根据权利要求2所述的检测或补正位置系统，其特征在于，该视觉测量单元还具有一探针模块，该探针模块设于该第三移动机构。

4.根据权利要求2所述的检测或补正位置系统，其特征在于，该视觉测量单元还具有一视觉撷取模块，该视觉撷取模块设于该第三移动机构。

5.根据权利要求4所述的检测或补正位置系统，其特征在于，还具有一视觉倍增模块，该视觉倍增模块设于该第三移动机构。

6.一种检测或补正位置方法，该方法用于执行一补正程序，其特征在于，该补正程序包含以下步骤：

移动视觉至预定位置，一视觉测量单元设有一定位标记，一待测物具有多个待测点，该待测物设定有多个预定位置，各预定位置具有该待测点；

选定多个预定位置，已选定的各预定位置之间具有一预定距离，该预定距离为多个该预定位置的距离总和；该视觉测量单元随机移动至任一预定位置的上方，该视觉测量单元撷取该预定位置的待测点与该定位标记的影像信息，该影像信息传送给一控制单元，以使该控制单元能设该待测点于该定位标记的位置；

选择最近该定位标记的该待测点，该视觉测量单元撷取一影像信息，该影像信息具有该定位标记与邻近的该定位标记的该待测点，该影像信息传送给一控制单元，由控制单元选出最邻近该定位标记的待测点；

计算该定位标记与该待测点之间的距离，该控制单元依据该影像信息计算出该定位标记与最邻近该定位标记的该待测点之间的距离，并依该距离产生一补正值；以及

执行记录及补正，该视觉测量单元依据该补正值进行一位置补正动作，该控制单元记录该补正值。

7.根据权利要求6所述的检测或补正位置方法，其特征在于，还包括选择进行一检测程序的步骤，该控制单元根据该补正程序产生的补正值控制该视觉测量单元的位置。