[发明专利]检测或补正位置系统及其方法

说明书

本发明公开了一种检测或补正位置系统及其方法，该检测或补正位置系统包含有：一基座；一视觉测量单元，其设于该基座，该视觉测量单元设有一定位标记；以及一控制单元，其电性连接该视觉测量单元；其中，该基座承载一待测物，该待测物设有多个待测点；该检测或补正位置系统执行一校正程序或一检测程序；于执行该校正程序时，在该待测物设定至少一预定位置，该视觉测量单元依序移动至各该预定位置，当该视觉测量单元移动至每一该预定位置时，该视觉测量单元撷取一影像信息，并将该影像信息传送给该控制单元，该控制单元计算该影像信息中的该定位标记与最邻近该定位标记的该待测点之间的距离，从而产生对应该预定位置的一补正值，并予以补正及记录。

技术领域

本发明涉及一种检测或补正位置系统及其方法，尤指一种能够缩短测量时间与提升测量精准度的方法与系统。

背景技术

薄膜晶体管液晶显示器(Thin film transistor liquid crystal display，以下简称TFT-LCD)已广泛地应用于人们的日常生活中，TFT-LCD于制造过程中需进行测量，以确认TFT-LCD能够进行后续的制造过程。

但是，TFT-LCD测量不可避免会有龙门、探针头或悬臂，或是移动过程中产生有形变，从而造成机构偏移量，使得探针头寻址时的位置产生异常。进而导致测量的不准确性。

若以人工方式进行探针头定位，则要对TFT-LCD的各晶体管一一进行定位，方能达到准确性的要求，但人工方式又往往会耗费大量的工时，故如何在一较短时间内提升测量的精准性就有可讨论的空间。

发明内容

有鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种检测或补正位置系统及其方法，其将待测物分为多个预定位置，视觉测量单元测量少量的预定位置，并于每次测量后即进行补正动作，以缩短测量时间，并提升测量的精准度。

为了达到上述目的，本发明提供了一种检测或补正位置系统，其包含有：

一基座；

一视觉测量单元，其设于该基座，该视觉测量单元设有一定位标记；以及

一控制单元，其电性连接该视觉测量单元；

其中，该基座承载一待测物，该待测物设有多个待测点；该检测或补正位置系统执行一校正程序或一检测程序；于执行该校正程序时，在该待测物设定至少一预定位置，该视觉测量单元依序移动至各该预定位置，当该视觉测量单元移动至每一该预定位置，该视觉测量单元撷取一影像信息并将该影像信息传送给该控制单元，该控制单元计算该影像信息中的该定位标记与最邻近该定位标记的该待测点之间的距离，从而产生对应该预定位置的一补正值，并予以补正及记录；于执行该检测程序时，该控制单元根据该补正值控制该视觉测量单元的位置。

于一实施例中，该控制单元具有一演算模块、一补偿模块与一记录模块，该演算单元接收该影像信息，以计算出该定位标记与最邻近该定位标记的该待测点之间的距离，并将该距离传送给该补偿模块，以产生该补正值，该补偿模块将该补正值传送给该视觉测量单元与该记录模块，该记录模块储存该补正值；该待测物为一待测基板或一待测面板，当该待测物为待测基板时，该待测点为一晶体管；当该待测物为待测面板时，该待测点为一像素。

于一实施例中，检测或补正位置系统还包含一第一移动机构、一第二移动机构、一第三移动机构与一载台，该第一移动机构设于该基座并可相对于该待测物于第一方向移动，该第二移动机构设于该第一移动机构，该第二移动机构可相对于该待测物于第二方向移动，该第三移动机构设于该第二移动机构，该第三移动机构可相对于该待测物于第三方向移动，该第三移动机构、该第二移动机构与该第一移动机构电性连接该控制单元；该载台设于该基座，该载台供该待测物设置。

于一实施例中，该视觉测量单元还具有一探针模块，该探针模块设于该第三移动机构。