[发明专利]一种含能复合薄膜激光飞片换能元在审
申请号: | 201610298991.5 | 申请日: | 2016-05-06 |
公开(公告)号: | CN107345781A | 公开(公告)日: | 2017-11-14 |
发明(设计)人: | 吴立志;姚艺龙;沈瑞琪;叶迎华;朱生华;胡艳;朱朋;张伟 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | F42B3/113 | 分类号: | F42B3/113 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心32203 | 代理人: | 邹伟红,朱显国 |
地址: | 210094 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 复合 薄膜 激光 飞片换能元 | ||
1.一种含能复合薄膜激光飞片换能元,其特征在于,包括依次连接的K9玻璃基片、纳米含能复合薄膜、Al2O3隔热层、Al飞片层。
2.如权利要求1所述的含能复合薄膜激光飞片换能元,其特征在于,所述的纳米含能复合薄膜为CuO-Al纳米含能复合薄膜,其底层薄膜为CuO薄膜,底层薄膜和Al薄膜由下至上交替分布,且底层薄膜和Al薄膜的厚度均为纳米级。
3.如权利要求1所述的含能复合薄膜激光飞片换能元,其特征在于,所述的纳米含能复合薄膜为MoO3-Al纳米含能复合薄膜,其底层薄膜为MoO3薄膜,底层薄膜和Al薄膜由下至上交替分布,且底层薄膜和Al薄膜的厚度均为纳米级。
4.如权利要求1所述的含能复合薄膜激光飞片换能元,其特征在于,所述的纳米含能复合薄膜为MnO2-Al纳米含能复合薄膜,其底层薄膜为MnO2薄膜,底层薄膜和Al薄膜由下至上交替分布,且底层薄膜和Al薄膜的厚度均为纳米级。
5.如权利要求1所述的含能复合薄膜激光飞片换能元,其特征在于,所述的纳米含能复合薄膜为TiO2-Al纳米含能复合薄膜,其底层薄膜为TiO2薄膜,底层薄膜和Al薄膜由下至上交替分布,且底层薄膜和Al薄膜的厚度均为纳米级。
6.如权利要求1-5任一所述的含能复合薄膜激光飞片换能元的制备方法,其特征在于,采用真空磁控溅射法在所述K9玻璃基片上先沉积底层薄膜,接着沉积Al薄膜,交替沉积,得到所述的纳米含能复合薄膜,再在纳米含能复合薄膜上沉积Al2O3隔热层薄膜,最后将Al飞片层沉积在Al2O3隔热层上。
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