[发明专利]一种SIP模组的镭射切割方法及系统有效
申请号: | 201610302540.4 | 申请日: | 2016-05-09 |
公开(公告)号: | CN105728956B | 公开(公告)日: | 2017-07-04 |
发明(设计)人: | 孟新玲;宋浩真;张亮 | 申请(专利权)人: | 环维电子(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/301 | 分类号: | H01L21/301 |
代理公司: | 上海硕力知识产权代理事务所31251 | 代理人: | 郭桂峰 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 sip 模组 镭射 切割 方法 系统 | ||
1.一种SIP模组的镭射切割方法,其特征在于,包括:
步骤S10获取所述SIP模组的轮廓数据;
其中,所述轮廓数据包括:切割路径和切割位置;
步骤S20根据预设的凹槽切割数据和获取的所述轮廓数据,采用镭射将所述SIP模组轮廓周围一圈的一部分塑封料进行切除,形成散热的凹槽;
步骤S30当所述凹槽形成后,根据获取的所述轮廓数据和预设的轮廓切割数据,采用镭射对所述SIP模组进行切割,直到切下所述SIP模组;
步骤S40根据所述轮廓数据和预设的抛光数据,采用镭射对切下的所述SIP模组进行抛光。
2.一种如权利要求1所述的SIP模组的镭射切割方法,其特征在于,所述凹槽切割数据包括:
凹槽位置偏移数据、凹槽切割次数、凹槽镭射控制参数;
所述步骤S20包括:
步骤S21根据所述轮廓数据和所述凹槽位置偏移数据,计算得到凹槽切割路径和凹槽切割位置;
步骤S22根据所述凹槽切割路径、所述凹槽切割位置、所述凹槽镭射控制参数,采用镭射将所述SIP模组轮廓周围一圈的一部分塑封料进行切除;
步骤S23判断所述步骤S22中采用镭射将所述SIP模组轮廓周围一圈的一部分塑封料进行切除的次数是否达到所述凹槽切割次数,若是,则执行步骤S30,若否,则执行步骤S22。
3.一种如权利要求2所述的SIP模组的镭射切割方法,其特征在于,所述轮廓切割数据包括:
轮廓切割次数、轮廓镭射控制参数;
其中,所述凹槽切割次数小于所述轮廓切割次数;
所述步骤S30包括:
步骤S31根据所述轮廓数据、所述轮廓镭射控制参数,采用镭射对所述SIP模组进行切割;
步骤S32判断所述步骤S31中采用镭射对所述SIP模组进行切割的次数是否达到所述轮廓切割次数,若是,则执行步骤S40,若否,则执行步骤S31。
4.一种如权利要求3所述的SIP模组的镭射切割方法,其特征在于,所述抛光数据包括:
抛光位置偏移数据、抛光次数、抛光镭射控制参数;
所述步骤S40包括:
步骤S41根据所述轮廓数据和所述抛光位置偏移数据,计算得到抛光路径和抛光位置;
步骤S42根据所述抛光路径、所述抛光位置、所述抛光镭射控制参数,采用镭射对切下的所述SIP模组进行抛光;
步骤S43判断所述步骤S42中采用镭射对切下的所述SIP模组进行抛光的次数是否达到所述抛光次数,若否,则执行步骤S42。
5.一种如权利要求4所述的SIP模组的镭射切割方法,其特征在于:
所述抛光镭射控制参数小于所述凹槽镭射控制参数,也小于所述轮廓镭射控制参数。
6.一种如权利要求1所述SIP模组的镭射切割方法,其特征在于,所述步骤S10包括:
步骤S11采集所述SIP模组的图像;
步骤S12对所述图像进行处理,得到所述SIP模组的所述轮廓数据。
7.一种SIP模组的镭射切割系统,其特征在于,包括:
控制模块;
获取模块,与所述控制模块电连接,在所述控制模块的控制下,获取所述SIP模组的轮廓数据;
其中,所述轮廓数据包括:切割路径和切割位置;
存储模块,与所述控制模块电连接,在所述控制模块的控制下,存储预设的凹槽切割数据、预设的轮廓切割数据;
镭射模块,与所述控制模块电连接,在所述控制模块的控制下,根据预设的所述凹槽切割数据和获取的所述轮廓数据,采用镭射将所述SIP模组轮廓周围一圈的一部分塑封料进行切除,形成散热的凹槽;以及,当所述凹槽形成后,在所述控制模块的控制下,根据获取的所述轮廓数据和预设的所述轮廓切割数据,采用镭射对所述SIP模组进行切割,直到切下所述SIP模组。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造