[发明专利]一种工艺顺序控制方法和装置有效

专利信息
申请号: 201610311709.2 申请日: 2016-05-11
公开(公告)号: CN107367976B 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 刘振华 申请(专利权)人: 北京北方华创微电子装备有限公司
主分类号: G05B19/042 分类号: G05B19/042
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人: 苏培华
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 工艺 顺序 控制 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种工艺顺序控制方法,其特征在于,所述方法包括:

对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别;

比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别;

若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别,则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用;

若是,则从第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用;

待所述第二工艺处理结束后,若所述第一工艺尚未处理结束,则归还释放的目标加工设备给所述第一工艺继续使用;

其中,所述从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用,包括:

暂停向所述第二工艺所需的目标加工设备传输属于所述第一工艺的新增物料;待所述目标加工设备完成对属于所述第一工艺的当前物料的处理后,释放所述目标加工设备供所述第二工艺使用。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,若当前处理的第一工艺未设置有执行属性的属性级别,则在所述对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别之后,所述方法还包括:

直接判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用;

若是,则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,若从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用后,所述第一加工设备有剩余,则所述方法还包括:

继续使用剩余的第一加工设备处理所述第一工艺。

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,若释放的目标加工设备为所述第二工艺所需的一部分,则在所述从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用同时,所述方法还包括:

发放所述第二工艺所需的其他目标加工设备供所述第二工艺使用。

5.一种工艺顺序控制装置,其特征在于,所述装置包括:

属性级别设置模块,用于对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别;

属性级别比较模块,用于比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别;

第二加工设备判断模块,用于若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别,则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用;

目标加工设备释放模块,用于若是,则从第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用;

目标加工设备归还模块,用于待所述第二工艺处理结束后,若所述第一工艺尚未处理结束,则归还释放的目标加工设备给所述第一工艺继续使用;

其中,所述目标加工设备释放模块,包括:

物料传输暂停子模块,用于暂停向所述第二工艺所需的目标加工设备传输属于所述第一工艺的新增物料;

目标加工设备解释子模块,用于待所述目标加工设备完成对属于所述第一工艺的当前物料的处理后,释放所述目标加工设备供所述第二工艺使用。

6.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,若当前处理的第一工艺未设置有执行属性的属性级别,则所述装置还包括:

第二加工设备直接判断模块,用于在所述对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别之后,直接判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用;

目标加工设备释开模块,用于若是,则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。

7.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,所述装置还包括:

第一工艺继续处理模块,用于若从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用后,所述第一加工设备有剩余,则继续使用剩余的第一加工设备处理所述第一工艺。

8.根据权利要求7所述的装置,其特征在于,所述装置还包括:

其他目标加工设备发放模块,用于若释放的目标加工设备为所述第二工艺所需的一部分,则在所述从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用同时,发放所述第二工艺所需的其他目标加工设备供所述第二工艺使用。

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