[发明专利]一种工艺顺序控制方法和装置有效
申请号: | 201610311709.2 | 申请日: | 2016-05-11 |
公开(公告)号: | CN107367976B | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 刘振华 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | G05B19/042 | 分类号: | G05B19/042 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 苏培华 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 工艺 顺序 控制 方法 装置 | ||
本发明公开了一种工艺顺序控制方法和装置。所述方法包括:对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别,比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别,若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别,则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用,若是,则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。本发明实现了对急需处理的第二工艺的插队处理,克服了常用方法必须等到当前处理的第一工艺结束后,才能使用被所述第一工艺当前使用的第一加工设备对急需处理的第二工艺进行处理的缺陷,保证了急需处理的第二工艺的处理进度。
技术领域
本发明涉及工艺控制技术领域,特别是涉及一种工艺顺序控制方法和一种工艺顺序控制装置。
背景技术
对于应用于生产线的生产线设备,一般是由设备控制系统和硬件设备共同进行控制操作,设备控制系统接收到操作人员的指令后依据指令内容控制硬件设备完成工艺处理,得到产品。在实际生产中,待处理工艺的数目为多个时,生产线设备会根据设备控制系统接收到的工艺顺序完成多个工艺的处理。
目前,生产线设备通常按照接收的工艺顺序依次对多个工艺进行处理。在使用生产线设备进行某些工艺实验时,如果处理该实验工艺所需的硬件设备未被生产线设备当前处理的生产工艺使用,那么可以同时对包括实验工艺在内的多个工艺进行处理;如果处理该实验工艺所需的硬件设备正被生产线设备当前处理的生产工艺使用,那么只有待当前处理的生产工艺结束后才能对实验工艺进行处理。
但是,实际生产中的工艺处理时间往往需要几个小时或更长时间,针对急需处理的实验工艺,若处理实验工艺所需的硬件设备正被生产线设备当前处理的生产工艺使用,则采用常用的工艺处理方法需要耗费较多的等待时间,造成实验进度的延误以及实验效率的降低。
发明内容
鉴于上述问题,提出了本发明以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的工艺顺序控制方法和相应的工艺顺序控制装置。
依据本发明的一个方面,提供了一种工艺顺序控制方法,所述方法包括:
对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别;
比较当前处理的第一工艺和预插队处理的第二工艺的执行属性的属性级别;
若所述第二工艺的属性级别高于所述第一工艺的属性级别,则进一步判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用;
若是,则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。
可选地,若当前处理的第一工艺未设置有执行属性的属性级别,则在所述对预插队处理的第二工艺设置执行属性的属性级别之后,所述方法还包括:
直接判断预插队处理的第二工艺所需的第二加工设备是否被当前处理的第一工艺使用;
若是,则从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用。
可选地,所述从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用包括:
暂停向所述第二工艺所需的目标加工设备传输属于所述第一工艺的新增物料;
待所述目标加工设备完成对属于所述第一工艺的当前物料的处理后,释放所述目标加工设备供所述第二工艺使用。
可选地,若从所述第一加工设备中释放所述第二工艺所需的目标加工设备给所述第二工艺使用后,所述第一加工设备有剩余,则所述方法还包括:
继续使用剩余的第一加工设备处理所述第一工艺。
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