[发明专利]一种高强度双层减反膜的制备方法

权利要求书

1.一种高强度双层减反膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)氧化钛溶胶的制备：取钛酸丁脂、乙酰丙酮、乙醇、醋酸和去离子水按照摩尔比为1:1:50:2:3的比例混合，采用离心搅拌机搅拌均匀，置于室温下老化120-168小时后，得氧化钛溶胶，备用；

2)氧化硅溶胶的制备：取正硅酸乙脂、去离子水、盐酸标准溶液、乙醇按照摩尔比为1:2:0.5:40的比例混合，采用离心搅拌机搅拌均匀，在温度为20℃，相对湿度为30％，静置168小时，得氧化硅溶胶，备用；

3)玻璃片的准备：将镀膜用玻璃片依次用去离子水和酒精冲洗干净后，用氮气吹干；

4)镀双层减反膜：在相对湿度＜50％时，采用提拉镀膜法将步骤1)所得氧化钛溶胶镀在步骤3)中清洗后玻璃片的两面，在玻璃片的正反面各形成一层氧化钛薄膜，氧化钛薄膜的厚度为110-130nm，再将步骤2)所得氧化硅溶胶，通过提拉镀膜法镀在氧化钛薄膜的外侧，在氧化钛薄膜的表面形成一层氧化硅薄膜，氧化硅薄膜的厚度为90-110nm；

5)烘干、成品：将步骤4)所得镀双层膜的玻璃片，置于烘箱中烘干，即得成品。

2.根据权利要求1所述的一种高强度双层减反膜的制备方法，其特征在于，所述步骤1)和步骤2)中的乙醇均为无水乙醇。

3.根据权利要求1所述的一种高强度双层减反膜的制备方法，其特征在于，所述步骤2)中盐酸标准溶液的pH＝1。

4.根据权利要求1所述的一种高强度双层减反膜的制备方法，其特征在于，所述步骤1)中离心搅拌机的转速为12000-16000rpm，搅拌时间为3-5min。

5.根据权利要求1或4所述的一种高强度双层减反膜的制备方法，其特征在于，所述步骤2)中离心搅拌机的转速为12000-16000rpm，搅拌时间为3-5min。

6.根据权利要求1所述的一种高强度双层减反膜的制备方法，其特征在于，所述步骤4)中采用提拉镀膜法时的提拉速度为6-12inch/min。

7.根据权利要求1所述的一种高强度双层减反膜的制备方法，其特征在于，所述步骤4)中氧化钛薄膜折射率为1.94-1.96；

所述氧化硅薄膜折射率为1.41-1.43。

8.根据权利要求1所述的一种高强度双层减反膜的制备方法，其特征在于，所述步骤5)中，烘箱内温度为200-250℃，烘烤时间为50-70min。