[发明专利]计算存储盒搬运距离的系统及方法

权利要求书

1.一种计算存储盒搬运距离的系统，用于计算存储盒在厂区内的搬运距离，其特征在于，所述厂区包括主干道以及多个工作区，所述主干道贯穿整个所述厂区，每个所述工作区包括多个机台以及可用于搬运存储盒的移动道，每个所述工作区与所述主干道具有一交点；所述系统包括：

数据存储模块，用于存储每个所述机台的位置及其可完成的工艺操作，所述存储盒所在机台的位置，以及可进行下一工艺操作的机台的位置；

距离计算模块，用于计算所述存储盒所在的机台搬运到可进行下一工艺操作的机台之间的距离为L，L＝L1+L2+L3，其中，L1为所述存储盒所在的机台与所述主干道之间的距离，L2为进行下一工艺操作的机台与所述主干道之间的距离，所述存储盒所在的工作区与所述主干道之间具有第一交点，进行下一工艺操作的机台所在的工作区与所述主干道之间具有第二交点，L3为所述第一交点与所述第二交点之间的距离；以及

所述厂区中还具有至少一用于临时存放所述存储盒的存储点，所述存储点位于所述主干道中，且与所述工作区相接触，将所述存储盒在所述存储点和所述机台之间搬运时，所述距离计算模块还用于计算所述存储盒搬运的距离L’，L’＝L1’+L2”，其中，L1’为所述机台与所述主干道之间的距离，所述机台所在的工作区与所述主干道之间具有第三交点，L2’为所述存储点与所述第三交点之间的距离。

2.如权利要求1所述的计算存储盒搬运距离的系统，其特征在于，用于实现相同的工艺操作的机台的个数大于等于1。

3.如权利要求2所述的计算存储盒搬运距离的系统，其特征在于，所述系统还包括比较模块，当需要进行某一工艺操作的可用机台的个数大于等于2时，所述比较模块分别计算所述存储盒所在的机台到多个可用机台之间的搬运距离，并选择搬运距离最短的可用机台进行该工艺操作。

4.如权利要求1所述的计算存储盒搬运距离的系统，其特征在于，所述系统还包括比较模块，以及，按照工艺操作步骤，所述比较模块还用于计算所述存储盒中的晶圆完成所有工艺步骤所需搬运的距离，并根据所需搬运的距离的最短值进行工艺操作。

5.如权利要求1所述的计算存储盒搬运距离的系统，其特征在于，所述存储盒在所述存储点之间传送时，采用一控制模块进行自动传送。

6.如权利要求1所述的计算存储盒搬运距离的系统，其特征在于，所述主干道位于所述厂区的中间。

7.如权利要求5所述的计算存储盒搬运距离的系统，其特征在于，所述工作区分别位于所述主干道两侧的厂区中，所述工作区的个数为三至十个。

8.如权利要求7所述的计算存储盒搬运距离的系统，其特征在于，每个工作区包括5～10个机台。

9.一种计算存储盒搬运距离的方法，用于计算厂区中存储盒的搬运距离，所述厂区包括主干道以及多个工作区，所述主干道贯穿整个所述厂区，每个所述工作区包括多个机台以及可用于搬运存储盒的移动道，每个所述工作区与所述主干道具有一交点，其特征在于，所述方法包括：

获取每个所述机台的位置及其可完成的工艺操作，所述存储盒所在机台的位置，以及可进行下一工艺操作的机台的位置；

计算所述存储盒所在的机台搬运到可进行下一工艺操作的机台之间的距离L，L＝L1+L2+L3，其中，L1为所述存储盒所在的机台与所述主干道之间的距离，L2为进行下一工艺操作的机台与所述主干道之间的距离，所述存储盒所在的工作区与所述主干道之间具有第一交点，进行下一工艺操作的机台所在的工作区与所述主干道之间具有第二交点，L3为所述第一交点与所述第二交点之间的距离；以及

所述厂区中还具有至少一用于临时存放所述存储盒的存储点，所述存储点位于所述主干道中，且与所述工作区相接触，将所述存储盒在所述存储点和所述机台之间搬运时，计算所述存储盒搬运的距离L’，L’＝L1’+L2”，其中，L1’为所述机台与所述主干道之间的距离，所述机台所在的工作区与所述主干道之间具有第三交点，L2’为所述存储点与所述第三交点之间的距离。