[发明专利]防止晶圆测试探针台撞针的装置及方法

权利要求书

1.一种防止晶圆测试探针台撞针的装置，其特征在于，包括：电子吸盘和 位于所述电子吸盘上的多个距离传感器，所述距离传感器均匀分布在所述电子 吸盘的侧壁上。

2.如权利要求1所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置，其特征在于，所 述电子吸盘为圆盘形。

3.如权利要求2所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置，其特征在于，所 述距离传感器为4个。

4.如权利要求3所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置，其特征在于，4 个所述距离传感器分别位于所述电子吸盘的0°/90°/180°/270°位置处。

5.如权利要求1所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置，其特征在于，所 述电子吸盘上设有多个吸力孔和顶针孔，所述吸力孔和顶针孔均匀分布在所述 电子吸盘上。

6.一种防止晶圆测试探针台撞针的方法，采用如权利要求1至5中任一项 所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置，其特征在于，包括步骤：

设置所述距离传感器的安全距离；

若检测到探针卡和电子吸盘之间的距离小于所述安全距离时，则发送信号 至探针台，所述探针台停止移动所述电子吸盘，并恢复所述电子吸盘至安全距 离；

若需要进行测试时，则将安全距离设置为扎针时最小的距离或者关闭距离 预警。

7.如权利要求6所述的防止晶圆测试探针台撞针的方法，其特征在于，所 述安全距离大于探针卡保护盖的厚度。

8.如权利要求6所述的防止晶圆测试探针台撞针的方法，其特征在于，若 检测到探针卡和电子吸盘之间的距离小于所述安全距离时，发送信号至探针台 后，所述探针台发出报警。