[发明专利]防止晶圆测试探针台撞针的装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种防止晶圆测试探针台撞针的 装置及方法。

背景技术

在集成电路在晶圆测试时，探针台和探针卡是必不可少的一部分，探针台 用于装载和移动晶圆，并固定探针卡的位置；探针卡用于连接测试机和晶圆上 的芯片。

探针卡的探针排列十分细密，一旦受到外力的影响就可能造成探针的弯曲 和损坏，无法再进行测试。通常，在晶圆测试前，需要设置一系列的参数，当 电子吸盘(chuck)的Z轴高度设置出现问题时，很容易引起探针撞到电子吸盘 上造成探针和电子吸盘的损坏，而当探针卡上的保护罩没有拿掉直接放入探针 台时，也会造成保护罩撞到电子吸盘上引起探针和电子吸盘的损坏。

发明内容

本发明的目的在于提供一种防止晶圆测试探针台撞针的装置及方法，能够 避免避免误操作导致的电子吸盘和探针碰撞引起损坏。

为了实现上述目的，本发明提出了一种防止晶圆测试探针台撞针的装置， 包括：电子吸盘和位于所述电子吸盘上的多个距离传感器，所述距离传感器均 匀分布在所述电子吸盘的侧壁上。

进一步的，在所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置中，所述电子吸盘为 圆盘形。

进一步的，在所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置中，所述距离传感器 为4个。

进一步的，在所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置中，4个所述距离传感 器分别位于所述电子吸盘的0°/90°/180°/270°位置处。

进一步的，在所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置中，所述电子吸盘上 设有多个吸力孔和顶针孔，所述吸力孔和顶针孔均匀分布在所述电子吸盘上。

在本发明中还提出了一种防止晶圆测试探针台撞针的方法，采用如上文所 述的防止晶圆测试探针台撞针的装置，包括步骤：

设置所述距离传感器的安全距离；

若检测到探针卡和电子吸盘之间的距离小于所述安全距离时，则发送信号 至探针台，所述探针台停止移动所述电子吸盘，并恢复所述电子吸盘至安全距 离；

若需要进行测试时，则将安全距离设置为扎针时最小的距离或者关闭距离 预警。

进一步的，在所述的防止晶圆测试探针台撞针的方法中，所述安全距离大 于探针卡保护盖的厚度。

进一步的，在所述的防止晶圆测试探针台撞针的方法中，若检测到探针卡 和电子吸盘之间的距离小于所述安全距离时，发送信号至探针台后，所述探针 台发出报警。

与现有技术相比，本发明的有益效果主要体现在：在电子吸盘侧壁上均匀 设置多个距离传感器，用于检测电子吸盘和探针卡之间的距离，若检测到探针 卡和电子吸盘之间的距离小于所述安全距离时，则发送信号至探针台，所述探 针台停止移动所述电子吸盘，并恢复所述电子吸盘至安全距离，从而避免两者 发生碰撞，造成探针的弯曲或损伤。

附图说明

图1为本发明一实施例中电子吸盘的俯视图；

图2为本发明一实施例中电子吸盘的侧视图。

具体实施方式

下面将结合示意图对本发明的防止晶圆测试探针台撞针的装置及方法进行 更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可 以修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应 当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公 知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在 任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标， 例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另 外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人 员来说仅仅是常规工作。

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本发明。根据下面说明和 权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简 化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例 的目的。