[发明专利]检测设备的补偿方法

权利要求书

1.一种检测设备的补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：

在检测设备的工作台上固定一光学标定板，该光学标定板具有XY方向十字交叉的标定标识中心；

将线扫描相机和光学标定板对位；

在所述工作台上安装一个角度调整机构，并用所述角度调整机构调整所述光学标定板的角度；

将线扫描相机更换为面阵相机；

将所述工作台和所述光学系统在XY方向进行平移，匹配对应的X轴、Y轴；

将所述光学系统移动至所述光学标定板的一个标定标识中心位置点，将光学中心对准标定标识中心，设定该标定标识中心位置点为原点；

识别标定标识中心到所述光学中心的偏差；

针对所述偏差进行评估，补偿和点位较准。

2.根据权利要求1所述的检测设备的补偿方法，其特征在于，所述识别标定标识中心到所述光学中心的偏差的步骤，包括以下子步骤：

在光学标定板上标定一个以标定标识的间距的整数倍为标定距离的区域；

带动面阵相机从所述原点移动到固定距离的各个位置点；

通过所述面阵相机拍照，识别标定标识中心到光学中心的偏差。

3.根据权利要求1或2所述的检测设备的补偿方法，其特征在于，所述识别标定标识中心到所述光学中心的偏差的步骤之后，还包括以下步骤：

建立基于XY平面坐标和各自轴偏差的三维地形分布图；

利用附近检测点的偏差，计算任一中间点的偏差。

4.根据权利要求1所述的检测设备的补偿方法，其特征在于，所述检测设备包括：控制驱动系统，连接控制驱动系统的XY平台，及反馈位置信号给控制驱动系统的机械位置反馈编码器。

5.根据权利要求4所述的检测设备的补偿方法，其特征在于，所述检测设备还包括：安装于所述XY平台的光学系统，及对所述光学系统进行图像识别和位置定位的图像处理系统。

6.根据权利要求5所述的检测设备的补偿方法，其特征在于，所述光学系统为线性扫描相机光学系统或面阵相机光学系统。

7.根据权利要求1所述的检测设备的补偿方法，其特征在于，所述光学标定板设有X方向和Y方向的标定刻度。