[发明专利]有机发光二极管制备方法和制备装置有效
申请号: | 201610386041.8 | 申请日: | 2016-06-03 |
公开(公告)号: | CN107464890B | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 魏洋;魏浩明;姜开利;范守善 | 申请(专利权)人: | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 发光二极管 制备 方法 装置 | ||
本发明提供一种有机发光二极管的制备方法,包括提供一基底,在该基底表面形成第一电极;提供一蒸发源,该蒸发源包括碳纳米管膜结构及有机发光层源材料,该碳纳米管膜结构为一载体,该有机发光层源材料设置在该碳纳米管膜结构表面,通过该碳纳米管膜结构承载,该有机发光层源材料为该有机发光层的材料或者用于形成该有机发光层的前驱体,该前驱体在蒸镀的过程中反应生成该有机发光层;将该蒸发源与基底具有第一电极的表面相对且间隔设置,并向该碳纳米管膜结构输入电磁波信号或电信号,使该有机发光层源材料蒸发,在该第一电极上蒸镀形成有机发光层;以及在该有机发光层上形成第二电极。本发明还提供一种有机发光二极管的制备装置。
技术领域
本发明涉及一种有机发光二极管制备方法和制备装置。
背景技术
有机发光二极管(organic light emitting diode,OLED)是一种发光层由有机复合物构成的发光二极管,作为一种高效的发光源,其具有重量轻、厚度薄、多色彩、低制造成本等诸多特点,使得有机发光二极管在大面积面光源的照明应用上逐渐显露出取代传统发光二极管的趋势,已经被广泛的运用于各种领域。现有技术中形成有机发光层的方法通常为蒸镀,为了形成均匀的有机发光层,需要在待镀基底周围形成均匀的气态蒸镀材料。有机发光层尺寸越大,成膜的均匀性越难保证,并且,由于难以控制气态蒸镀材料原子的扩散运动方向,大部分蒸镀材料都不能附着在待镀基底表面,从而造成蒸镀率低且蒸镀速度慢等问题。
发明内容
有鉴于此,确有必要提供一种能够解决上述问题的有机发光二极管制备方法和制备装置。
一种有机发光二极管的制备方法,包括提供一基底,在该基底表面形成第一电极;提供一蒸发源,该蒸发源包括碳纳米管膜结构及有机发光层源材料,该碳纳米管膜结构为一载体,该有机发光层源材料设置在该碳纳米管膜结构表面,通过该碳纳米管膜结构承载,该有机发光层源材料为该有机发光层的材料或者用于形成该有机发光层的前驱体,该前驱体在蒸镀的过程中反应生成该有机发光层;将该蒸发源与基底具有第一电极的表面相对且间隔设置,并向该碳纳米管膜结构输入电磁波信号或电信号,使该有机发光层源材料蒸发,在该第一电极上蒸镀形成有机发光层;以及在该有机发光层上形成第二电极。
一种有机发光二极管的制备装置,包括一蒸发源及加热装置,以形成该有机发光二极管的光吸收层,该蒸发源包括碳纳米管膜结构及有机发光层源材料,该碳纳米管膜结构为一载体,该有机发光层源材料设置在该碳纳米管膜结构表面,通过该碳纳米管膜结构承载,该加热装置能够向该碳纳米管膜结构输入电磁波信号或电信号,使该有机发光层源材料蒸发从而形成光吸收层,该有机发光层源材料为该有机发光层的材料或者用于形成该有机发光层的前驱体,该前驱体在蒸镀的过程中反应生成该有机发光层。
相较于现有技术,本发明将自支撑的碳纳米管膜作为有机发光层源材料的载体,利用该碳纳米管膜极大的比表面积及自身的均匀性,使承载在该碳纳米管膜上的有机发光层源材料在蒸发前即实现较为均匀的大面积分布。在蒸发的过程中利用该自支撑碳纳米管膜在电磁波信号或电信号的作用下瞬时加热的特性,在极短的时间将有机发光层源材料完全气化,从而形成均匀且大面积分布的气态有机发光层源材料。该待镀表面与该碳纳米管膜间隔距离短,使承载在该碳纳米管膜上的有机发光层源材料基本上均能得到利用,有效节约了有机发光层源材料,提高了蒸镀速度及均匀性。
附图说明
图1为本发明实施例有机发光二极管制备方法的流程图。
图2为本发明实施例有机发光二极管制备装置的结构示意图。
图3为本发明实施例有机发光二极管的结构示意图。
图4为本发明实施例从碳纳米管阵列中拉取获得的碳纳米管膜的扫描电镜照片。
图5为本发明一实施例碳纳米管膜结构的扫描电镜照片。
图6为本发明另一实施例有机发光二极管制备装置的结构示意图。
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