[发明专利]一种溶剂混合器有效

专利信息
申请号: 201610395471.6 申请日: 2016-06-06
公开(公告)号: CN107456888B 公开(公告)日: 2020-06-05
发明(设计)人: 赵旭良;汪燕 申请(专利权)人: 上海新昇半导体科技有限公司
主分类号: B01F5/00 分类号: B01F5/00;B01F3/08;B01F15/04
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 余明伟
地址: 201306 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 溶剂 混合器
【权利要求书】:

1.一种溶剂混合器,其特征在于,包括:

储液槽;

将多种液体导入所述储液槽的多路进液口;

位于所述储液槽之下的初级导流圈;

位于所述初级导流圈之下的次级锥形圈;

其中,所述储液槽的下端设有开口,所述初级导流圈的上端设有进口,所述进口与所述开口对接,所述初级导流圈的下端设有多个锥形孔;所述次级锥形圈的上端与所述初级导流圈对接,所述次级锥形圈下端设有出液口;

所述初级导流圈为圆环状,所述进口为一个或多个,集中设置在所述初级导流圈上端的一侧,所述锥形孔为上大下小的锥形,分散设置在所述初级导流圈的下端,所述锥形孔的上端向所述初级导流圈中心倾斜,使所述锥形孔的中心线与所述初级导流圈所在平面成小于90度的倾角;

所述次级锥形圈为上大下小的圆锥形。

2.根据权利要求1所述的溶剂混合器,其特征在于:所述多路进液口包括第一进液口和第二进液口;所述第二进液口集中设置于储液槽中部且管口伸入所述储液槽内;所述第一进液口设置于所述第二进液口的周围且管口高于所述第二进液口的管口。

3.根据权利要求1所述的溶剂混合器,其特征在于:所述多路进液口均设有流量电磁阀,分别控制所述多路进液口的液体流量。

4.根据权利要求1所述的溶剂混合器,其特征在于:所述储液槽下端开口处设有储液槽电磁阀。

5.根据权利要求1所述的溶剂混合器,其特征在于:所述储液槽设有液位传感器,检测储液槽中液位。

6.根据权利要求1所述的溶剂混合器,其特征在于:所述多路进液口均设有流量电磁阀,分别控制所述多路进液口的液体流量;所述储液槽下端开口处设有储液槽电磁阀;所述储液槽设有液位传感器,检测储液槽中液位;所述溶剂混合器还包括控制模块,所述控制模块与所述液位传感、所述流量电磁阀和所述储液槽电磁阀连接,根据所需混合液的配置比例通过所述流量电磁阀控制多路进液口的流量,并根据所述液位传感器发送的液位信号控制所述储液槽电磁阀和所述流量电磁阀的开启和关闭。

7.根据权利要求6所述的溶剂混合器,其特征在于:当所述储液槽中液位低于预设的工作液位时,所述液位传感器不向所述控制模块发送信号,所述控制模块保持所述储液槽电磁阀关闭;当所述储液槽中液位到达预设的工作液位时,所述液位传感器向所述控制模块发送液位到达工作液位的信号,所述控制模块打开所述储液槽电磁阀;当所述储液槽中液位到达预设的警戒液位时,所述液位传感器向所述控制模块发送液位到达警戒液位的信号,所述控制模块强制关闭所有流量电磁阀。

8.根据权利要求1所述的溶剂混合器,其特征在于:所述储液槽、初级导流圈和次级锥形圈的材料为聚四氟乙烯。

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