[发明专利]背板及其制造方法以及靶材组件的制造方法

权利要求书

1.一种背板，用于与靶坯焊接形成靶材组件，其特征在于，包括：

焊接面；

凸出于所述焊接面上的多个环形凸齿，所述多个环形凸齿呈相互间隔的同心排布；所述环形凸齿内具有一个环形第一凹槽，且所述环形第一凹槽的侧壁与所述环形凸齿的侧壁构成尖角结构；或者，所述环形凸齿内具有环形凹槽组，所述环形凹槽组至少包括两个环形第一凹槽，且相邻环形第一凹槽的侧壁相连接构成第一尖角结构，所述环形第一凹槽的侧壁与所述环形凸齿的侧壁构成第二尖角结构；

相邻环形凸齿的侧壁与位于所述相邻环形凸齿之间的焊接面围成环形第二凹槽，所述环形第二凹槽的深度不小于所述环形第一凹槽的深度。

2.如权利要求1所述的背板，其特征在于，所述背板呈圆柱形，所述环形凸齿内具有一个环形第一凹槽，所述环形凸齿的轴向横截面为M形。

3.如权利要求1所述的背板，其特征在于，所述环形凸齿的侧壁与所述焊接面相垂直。

4.如权利要求1所述的背板，其特征在于，所述背板呈圆柱形，所述环形第一凹槽的轴向横截面为V形。

5.如权利要求1所述的背板，其特征在于，所述环形第一凹槽的两个侧壁的夹角为85度至95度。

6.如权利要求1所述的背板，其特征在于，所述环形第一凹槽的两个侧壁相互垂直。

7.如权利要求1所述的背板，其特征在于，所述背板还包括：环绕所述焊接面的底部凸台，所述底部凸台的顶部高于所述焊接面的表面；

环绕所述底部凸台的顶部凸台，所述顶部凸台的顶部高于所述底部凸台的顶部。

8.一种背板的制造方法，其特征在于，包括：

提供初始背板，所述初始背板包括第一区域以及环绕所述第一区域的第二区域；

对所述第一区域的初始背板表面进行第一机械加工，形成多个呈同心排布的环形第一凹槽；所述环形第一凹槽之间相互间隔；

对所述环形第一凹槽之间的第一区域初始背板表面进行第二机械加工，形成环形第二凹槽，所述环形第二凹槽的深度不小于所述环形第一凹槽的深度；所述环形第二凹槽的底部为焊接面，相邻环形第二凹槽具有相背设置的侧壁，所述相背设置的侧壁与相邻所述环形第一凹槽的侧壁构成尖角结构，形成位于相邻所述环形第二凹槽之间且凸出于所述焊接面的环形凸齿；

或者，

对所述第一区域的初始背板表面进行第一机械加工，形成多个呈同心排布的环形凹槽组，所述环形凹槽组之间相互间隔，所述环形凹槽组至少包括两个环形第一凹槽，且相邻环形第一凹槽的侧壁相连接构成第一尖角结构；

对所述环形凹槽组之间的第一区域初始背板表面进行第二机械加工，形成环形第二凹槽，所述环形第二凹槽的深度不小于所述环形第一凹槽的深度；所述环形第二凹槽的底部为焊接面，相邻环形第二凹槽具有相背设置的侧壁，所述相背设置的侧壁与相邻所述环形第一凹槽的侧壁构成第二尖角结构，形成位于相邻所述环形第二凹槽之间且凸出于所述焊接面的环形凸齿。

9.如权利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述背板呈圆柱形，所述环形凸齿内具有一个环形第一凹槽，所述环形凸齿的轴向横截面为M形。

10.如权利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述环形凸齿的侧壁与所述焊接面相垂直。

11.如权利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述背板呈圆柱形，所述环形第一凹槽的轴向横截面为V形。

12.如权利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述环形第一凹槽的两个侧壁的夹角为85度至95度。

13.如权利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述环形第一凹槽的两个侧壁相互垂直。

14.如权利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述第一机械加工为精加工，对所述第一区域的初始背板表面进行第一机械加工的步骤包括：采用90度成形刀进行加工，吃刀量为0.28毫米至0.32毫米，机床转速为25转/分钟至35转/分钟，进给量为0.02毫米/转至0.04毫米/转。