[发明专利]DUT测试板及其使用方法有效
申请号: | 201610411868.X | 申请日: | 2016-06-12 |
公开(公告)号: | CN107490755B | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 辛军启 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 300385 天津市西青*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | dut 测试 及其 使用方法 | ||
1.一种DUT测试板,其特征在于,包括:电源信号选择单元、DUT信号选择单元和自动切换单元;
所述电源信号选择单元用于接收外部测试机台提供的多个电源信号,并根据测试要求在所述多个电源信号中选择需要的电源信号;所述电源信号选择单元包括第一电源线、第二电源线、第三电源线、第四电源线和电源接口,所述电源接口用于分别接收第一电源信号、第二电源信号、第三电源信号和第四电源信号,所述第一电源线、第二电源线、第三电源线、第四电源线的一端均与所述电源接口电性连接,所述第一电源线和第四电源线的另一端直接与所述DUT信号选择单元电性连接,所述第二电源线和第三电源线的另一端通过自动切换单元与所述DUT信号选择单元电性连接,其中,所述第二电源信号或第三电源信号为电源脉冲电源Vpp信号;
所述DUT信号选择单元与所述电源信号选择单元电性连接,并根据所述电源信号选择单元提供的电源信号向待测样品提供DUT信号;
所述自动切换单元设置在所述电源信号选择单元与所述DUT信号选择单元之间,用于实现Vpp信号的自动接通与断开。
2.如权利要求1所述的DUT测试板,其特征在于,所述自动切换单元包括一继电器;
所述第二电源线和第三电源线通过短接方式与所述继电器电性连接;或
所述第二电源线和第三电源线通过短接方式跳过所述继电器,直接与所述DUT信号选择单元电性连接。
3.如权利要求2所述的DUT测试板,其特征在于,所述继电器用于接收所述第二电源信号和第三电源信号,并实现所述第二电源信号与第三电源信号的自动切换,以实现所述Vpp信号的自动接通与断开。
4.如权利要求2所述的DUT测试板,其特征在于,所述继电器包括:第二电源信号端、第三电源信号端和控制端,所述第二电源信号端用于接收所述第二电源信号,所述第三电源信号端用于接收所述第三电源信号,所述控制端用于接收第四电源信号,所述第四电源信号作为控制信号控制所述继电器的闭合和断开。
5.如权利要求1所述的DUT测试板,其特征在于,DUT信号选择单元包括第一选择端口和第二选择端口,所述第一选择端口和第二选择端口均包括多个排针,所述多个排针呈矩形布置,每个排针均包括第一组连接端、第二组连接端和第三组连接端,所述第一组连接端、第二组连接端和第三组连接端以所述矩形为中心由内向外依次排列。
6.如权利要求5所述的DUT测试板,其特征在于,所述第一选择端口的第一组连接端均与所述第一电源线电性连接,所述第一选择端口的第三组连接端与外部的测试通道一一对应并电性连接,所述第二选择端口的第一组连接端均与所述第四电源线电性连接,所述第二选择端口的第三组连接端以交替方式与所述第二电源线或第三电源线电性连接,所述第一选择端口的第二组连接端和第二选择端口的第二组连接端均用于与所述待测样品的电性连接。
7.一种DUT测试板的使用方法,其特征在于,包括:
提供如权利要求1至6中任意一项所述的DUT测试板,并将所述DUT测试板安装到测试机台上;
将一待测样品DUT放置于所述DUT测试板上,使得所述待测样品DUT的引脚与所述DUT测试板的DUT信号选择单元实现电性连接;以及
对所述待测样品DUT进行VT测试或FT测试;进行VT测试时,通过所述DUT测试板上的自动切换单元自动接通电源脉冲电源Vpp信号;进行FT测试时,通过所述DUT测试板上的自动切换单元自动断开Vpp信号。
8.如权利要求7所述的DUT测试板的使用方法,其特征在于,对所述待测样品DUT进行VT测试的具体过程包括:
通过所述测试机台向所述DUT测试板的电源信号选择单元分别提供第一电源信号、第二电源信号、第三电源信号和第四电源信号;
利用所述电源信号选择单元对所述第一电源信号、第二电源信号、第三电源信号和第四电源信号进行选择,并将VT测试所需的电源信号传输至DUT信号选择单元;以及
通过所述DUT信号选择单元向所述待测样品DUT提供VT测试所需的DUT信号。
9.如权利要求7所述的DUT测试板的使用方法,其特征在于,对所述待测样品DUT进行FT测试的具体过程包括:
通过所述测试机台向所述DUT测试板的电源信号选择单元分别提供第一电源信号、第二电源信号、第三电源信号和第四电源信号;
利用所述电源信号选择单元对所述第一电源信号、第二电源信号、第三电源信号和第四电源信号进行选择,并将FT测试所需的电源信号传输至DUT信号选择单元;以及
通过所述DUT信号选择单元向所述待测样品DUT提供FT测试所需的DUT信号。
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